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J-GLOBAL ID:201902282667305498   整理番号:19A2500132

In_2S_3ドープGe_2Sb_2Te_5膜の絶縁体-金属転移によるマルチレベル貯蔵性能の改善【JST・京大機械翻訳】

Improved multi-level storage performance by insulator-metal transition of In2S3-doped Ge2Sb2Te5 films
著者 (8件):
資料名:
巻: 45  号: 18 PA  ページ: 24090-24095  発行年: 2019年 
JST資料番号: H0705A  ISSN: 0272-8842  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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新規In_2S_3ドープGe_2Sb_2Te_5(GST)膜を調製し,それらの構造,電気的および熱的挙動を研究した。その結果,In_2S_3ドーピング濃度が3.33から4.4at%に増加すると,GSTの結晶化温度は180から210°Cに増加し,In_2S_3の量が7.77から9.35at%に増加すると185から170°Cに減少することを確認した。4.4at%のIn_2S_3ドーピング濃度を有するGST膜がすべての膜の中で最良の熱安定性を有することを実証した。一方,構造解析により,すべてのIn_2S_3ドープGST膜は,アニーリングにより,中間面心立方および熱力学的六方晶構造をもつGSTと同様の二段階結晶化挙動を示すことがわかった。さらに重要なことに,GST膜における絶縁体-金属転移(IMT)を著しく見出した。準安定相が存在する温度範囲は,中程度のIn_2S_3ドーピング濃度によって拡大することができ,GSTと比較して,多重レベル貯蔵特性を調整することを可能にした。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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酸化物薄膜 
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