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J-GLOBAL ID:201902283319163861   整理番号:19A2448899

P-6.9:G8.6 LCD上の光劣化を抑制する高信頼性a-Si:H TFT【JST・京大機械翻訳】

P-6.9: High-reliability a-Si:H TFT with Repressing Photo-degradation on G8.6 LCDs
著者 (10件):
資料名:
巻: 50 Suppl S1  ページ: 779-780  発行年: 2019年 
JST資料番号: E0907A  ISSN: 0097-966X  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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水素化非晶質シリコン(a-Si:H)は,主な活性層材料としての大サイズ液晶ディスプレイ(LCD)における大量生産に依然として適用されている。本論文では,G8.6LCD上の高光学品質a-Si:H薄膜トランジスタ(TFT)の作製に成功した。ゲート絶縁層(GI)構造を再構成することにより,4マスクプロセスによるa-Si:H TFTの光安定性を向上させた。この先進的製造法を用いて,デバイスの光劣化を抑制し,光学性能を改善した。Copyright 2019 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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