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J-GLOBAL ID：201902283365457770   整理番号：19A2733241

オキシふっ化アルミニウム不動態化層の熱コンダクタンス【JST・京大機械翻訳】

Thermal conductance of aluminum oxy-fluoride passivation layers

著者 (5件)： Tomko John A. (Department of Materials Science and Engineering, University of Virginia, Charlottesville, Virginia 22903, USA) ,  Boris David R. (Plasma Physics Division, Naval Research Laboratory, 4555 Overlook Ave. SW, Washington DC 20375, USA) ,  Rosenberg Samantha G. (ASEE Postdoctoral Research Associate, U.S. Naval Research Laboratory, 4555 Overlook Ave. SW, Washington, DC 20375, USA) ,  Walton Scott G. (Plasma Physics Division, Naval Research Laboratory, 4555 Overlook Ave. SW, Washington DC 20375, USA) ,  Hopkins Patrick E. (Department of Materials Science and Engineering, University of Virginia, Charlottesville, Virginia 22903, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 115  号： 19  ページ： 191901-191901-5  発行年： 2019年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アルミニウム薄膜の表面におけるプラズマ発生したフッ化アルミニウム不動態化層の熱的性質を測定した。オキシフッ化物層は,NH_3とSF_6の混合物中で生成したプラズマを用いて生成し,酸素を同時に除去し,さらに酸化からアルミニウム表面を保護するのに役立つ金属フッ化物(例えばMgF_2,LiF,AlF_3)薄膜を除去するためにHF処理を利用する従来の二段階法への代替アプローチである。ここでは,プラズマ処理時間の関数としての層の熱的性質の変化を決定した。熱処理時間の増加により熱境界コンダクタンスの著しい減少が測定され,これは層中のフッ素含有量の増加に関連する。音響反射測定は,この減少した熱境界コンダクタンスが,フッ素の増加と共にアルミニウムに対する低い結合強度と関連することを示した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *フッ化アルミニウム ,  フッ素 ,  *アルミニウム ,  *コンダクタンス ,  音響 ,  *不動態化 ,  プラズマ生成 ,  プラズマ処理 ,  薄膜 ,  プラズマ ,  熱特性 ,  付着強さ ,  酸素
準シソーラス用語： オキシフッ化物 ,  *熱コンダクタンス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 比熱・熱伝導一般  (BL05021E)

タイトルに関連する用語 (3件)： ふっ化アルミニウム ,  不動態化 ,  熱コンダクタンス