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J-GLOBAL ID：201902288358777577   整理番号：19A0474551

SEMによるナノ計測を支える認証標準物質

著者 (1件)： 熊谷和博 (産業技術総合研 計量標準総合セ)
資料名： 計測標準と計量管理  (Measurement Standards and Metrology Management)
巻： 68  号： 4  ページ： 64-66  発行年： 2019年02月20日 
JST資料番号： F0771A  ISSN： 1880-1420  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・開発された走査電子顕微鏡画像分岐能評価のための認証標準物質タングステンドットアレイは,シリコン基板上にタングステンドットが格子状に並んだ構造を持つことについての論述。
・認証値であるドットピッチで電子顕微鏡の倍率校正を,また,ドットエッジを利用してDR法による分解能評価が可能であることについての論述。
・この認証標準物質を用いた分解能評価法は装置性能評価だけでなく,オペレータ習熟度評価への応用に期待についての展望。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *計測 ,  *認証標準物質 ,  *ウエハ【IC】 ,  *倍率 ,  *分解能 ,  *タングステン ,  *性能評価 ,  *性質
準シソーラス用語： ASEM【顕微鏡】 ,  シリコン基板 ,  ナノ計測 ,  画像分解能 ,  習熟度

分類 (5件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  研究開発  (CA01040B) ,  単位,標準,標準器,定数  (AD03000E) ,  技術の標準化・規格  (HA02000V)

引用文献 (4件)：

• NMIJ認証標準物質(NMIJ CRM) https://www.nmij.jp/service/C/
• ISO/TS 24597: 2011 Microbeam analysis-Scanning electron microscopy- Methods of evaluating image sharpness. International Organization for Standardization (2011).
• 佐藤 貢,精密工学誌,79(11),1009(2013)
• K. Kumagai and A. Kurokawa, Microsc. Microanal., 22 (S3), 448 (2016).

タイトルに関連する用語 (3件)： SEM ,  ナノ計測 ,  認証標準物質