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J-GLOBAL ID：201902288642163085   整理番号：19A1376423

自己組織化単分子膜によるInGaZnO/イオン液体界面反応の保護作用

著者 (7件)： 石田翔麻 (奈良工高専) ,  藤井茉美 (奈良先端科学技術大学院大) ,  LIU Yang (奈良先端科学技術大学院大) ,  山田裕久 (奈良工高専) ,  石河泰明 (奈良先端科学技術大学院大) ,  藤田直幸 (奈良工高専) ,  浦岡行治 (奈良先端科学技術大学院大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th  ページ： ROMBUNNO.12a-PA3-18  発行年： 2019年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【背景】これまで非晶質InGaZnO(a-IGZO)にイオン液体(IL)を用いた電気二重層トランジスタ(EDLT)は、高密度キャリア蓄積による低電圧駆動化が可能となり、IGZOの電界劣化、発熱劣化を抑制することが報告されている[1]。しかし...【本文一部表示】

シソーラス用語： *単分子層 ,  *ガリウム化合物 ,  *亜鉛化合物 ,  *酸化インジウム ,  *イオン液体 ,  不均一系反応 ,  保護作用 ,  トランジスタ ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング
準シソーラス用語： *自己組織化単分子膜 ,  *IGZO【半導体】 ,  界面反応 ,  電気二重層トランジスタ ,  RFマグネトロンスパッタリング

分類 (2件)： その他の接合  (BM03088W) ,  固-液界面  (CB12050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： 自己組織化単分子膜 ,  イオン液体 ,  界面反応 ,  保護作用