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J-GLOBAL ID：201902289861080642   整理番号：19A1413850

垂直シリコンプローブに基づく原子間力顕微鏡【JST・京大機械翻訳】

Atomic force microscope based on vertical silicon probes

著者 (3件)： Walter Benjamin (Vmicro SAS, Avenue Poincare, 59650 Villeneuve d’Ascq, France) ,  Mairiaux Estelle (Vmicro SAS, Avenue Poincare, 59650 Villeneuve d’Ascq, France) ,  Faucher Marc (Vmicro SAS, Avenue Poincare, 59650 Villeneuve d’Ascq, France)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 110  号： 24  ページ： 243101-243101-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)用のシリコンマイクロセンサのファミリーを提示し,中程度の剛性定数と共に,媒体から高周波までの集積変換器で動作させることを可能にした。センサはマイクロ電気機械システム技術に基づいている。垂直設計は,画像化される表面に垂直に振動する長いチップを特別に可能にする。チップは準曲げ複合梁を含む共振器の一部であり,圧電抵抗検出器および/または電熱アクチュエータとして用いることができる対称変換器である。2つの垂直プローブ(Vプローブ)を,剛性定数150N/m~500N/m,および10pmから90nmまで振動する能力を有する4.3MHzまで操作した。振幅変調(タップモード)と周波数変調の両方におけるいくつかのサンプルのAFM画像を得た。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 剛性 ,  変換器 ,  対称性 ,  *プローブ ,  共振器 ,  *原子間力顕微鏡 ,  電気加熱 ,  検出器 ,  媒質 ,  アクチュエータ ,  センサ ,  画像 ,  周波数変調 ,  *ケイ素 ,  振幅変調

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 垂直 ,  シリコン ,  プローブ ,  原子間力顕微鏡