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J-GLOBAL ID：201902291706045738   整理番号：19A0728396

物理蒸着による配向尿素オリゴマを有する高硬度および低誘電率薄膜【JST・京大機械翻訳】

High hardness and low dielectric constant thin films with oriented urea oligomers by physical vapor deposition

著者 (5件)： Morimoto Masahiro (Department of Chemical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe University, Kobe, Japan) ,  Morimoto Masahiro (Graduate School of Science and Engineering for Research, University of Toyama, Toyama, Japan) ,  Fukutomi Tatsuya (Department of Chemical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe University, Kobe, Japan) ,  Koshiba Yasuko (Department of Chemical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe University, Kobe, Japan) ,  Ishida Kenji (Department of Chemical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe University, Kobe, Japan)
資料名： Journal of Materials Science  (Journal of Materials Science)
巻： 54  号： 3  ページ： 2483-2492  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高結晶性,表面硬度,垂直配向,低誘電率を有するウンデシル尿素(OUA11)薄膜のオリゴマを物理蒸着により作製した。薄膜は,比較的高い分子量(Mw:2500,Mn:1200)を持ち,熱分解なしで蒸着できる単一OUA11から成った。これらの膜は鉛筆硬度試験において非常に高い結晶性と9Hの高い表面硬度レベルを有していた。OUA11膜の誘電率は1Hz~0.1MHzの周波数範囲で2.1~2.3と推定され,これは典型的な低誘電率(low-k)材料のそれよりも低い。これらの物理的および電気的性質は,基板上の電極に平行な分子双極子と強い分子間水素結合を有する独特の構造によって引き起こされる。独特の構造はスピンコーティングでは観察できず,蒸着膜に特異的であった。高硬度と低誘電率を有するOUA11膜は保護被覆だけでなく電子材料としても使用できると期待される。Copyright 2018 Springer Science+Business Media, LLC, part of Springer Nature Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 蒸着膜 ,  *誘電率 ,  *オリゴマ ,  *薄膜 ,  電気的性質 ,  スピンコーティング ,  結晶度 ,  *物理蒸着 ,  熱分解 ,  基板 ,  双極子 ,  鉛筆硬度 ,  *低誘電率 ,  垂直配向 ,  ウレア化合物

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  誘電体一般  (BM05010F)

物質索引 (1件)： 尿素

タイトルに関連する用語 (6件)： 物理蒸着 ,  配向 ,  尿素 ,  オリゴマ ,  高硬度 ,  低誘電率薄膜