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J-GLOBAL ID：201902292072093145   整理番号：19A2480200

圧電体共振を用いた水素検出用パラジウムナノ粒子の開発

著者 (1件)： 中村暢伴 (大阪大)
資料名： クリーンエネルギー
巻： 28  号： 10  ページ： 22-26  発行年： 2019年10月10日 
JST資料番号： L1693A  ISSN： 0918-7510  CODEN： KUENE9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・水素社会実現における水素漏洩検知の水素センサとして水素吸収によるパラジウム体積膨張に伴うナノ粒子同士の接触による電気抵抗低下を利用したセンサの作製法を紹介。
・基板上のパラジウムナノ粒子スパッタリング成膜中に初期の分散粒子不連続状態から粒子が大きくなり互いに接触する連続膜に遷移する直前の状態を実現する方法を考案。
・基板の下方に圧電体を設置し,成膜中に共振周波数で振動させ発生する交流電場により成膜金属内の発生電流を圧電体の振動エネルギー消費量でモニター。
・RFスパッタリング成膜中断試料での水素導入時電気抵抗変化と圧電体のエネルギー消費減衰の関係から圧電体減衰最大点で抵抗変化最大となり最適成膜条件を確定。

シソーラス用語： 圧電体 ,  *ガスセンサ ,  *水素 ,  *ナノ粒子 ,  *パラジウム ,  電気抵抗 ,  RFスパッタリング ,  共振周波数 ,  共振 ,  薄膜成長 ,  エネルギー消費 ,  減衰 ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  *パラジウムナノ粒子 ,  振幅減衰 ,  *水素センサ ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： Si基板

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 圧電体 ,  共振 ,  水素 ,  パラジウムナノ粒子 ,  開発