特許
J-GLOBAL ID：201903000377829835

樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者：
小室 勝洋

小室 勝洋 について

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▲高▼橋 優樹

▲高▼橋 優樹 について

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市川 幸司

市川 幸司 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-179919
公開番号（公開出願番号）：特開2019-081882
出願日： 2018年09月26日
公開日（公表日）： 2019年05月30日
要約：
【課題】良好なラインエッジラフネス(LER)でレジストパターンを製造できる樹脂及び該樹脂を含有するレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される構造単位を含む樹脂。[式(I)中、R1はメチル基等を表す。L1は単結合等を表す。W1は炭素数3〜18の2価の環状炭化水素基等を表す。L2は炭素数1〜6のアルカンジイル基等を表す。R3、R4及びR5は、それぞれ独立に炭素数1〜6の炭化水素基等を表す。nは1〜3のいずれかの整数を表す。]【選択図】なし
請求項（抜粋）：
式(I)で表される構造単位及び式(a3-4)で表される構造単位を含む樹脂。
IPC (5件)：
C08F 220/18 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/20
FI (7件)：
C08F220/18 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521
Fターム (76件)：
2H197CA06 ,  2H197CA08 ,  2H197CA09 ,  2H197CE01 ,  2H197CE10 ,  2H197HA03 ,  2H197JA22 ,  2H225AF11P ,  2H225AF16P ,  2H225AF22P ,  2H225AF24P ,  2H225AF25P ,  2H225AF53P ,  2H225AF54P ,  2H225AF67P ,  2H225AF71P ,  2H225AF91P ,  2H225AF99P ,  2H225AH09 ,  2H225AH10 ,  2H225AH17 ,  2H225AH19 ,  2H225AJ12 ,  2H225AJ13 ,  2H225AJ18 ,  2H225AJ48 ,  2H225AJ54 ,  2H225AJ55 ,  2H225AJ58 ,  2H225AM22P ,  2H225AM99P ,  2H225AN38P ,  2H225AN39P ,  2H225AN54P ,  2H225BA01P ,  2H225BA02P ,  2H225BA26P ,  2H225BA30P ,  2H225CA12 ,  2H225CB10 ,  2H225CB18 ,  2H225CC01 ,  2H225CC15 ,  2H225CD05 ,  4J100AB07P ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100BA02T ,  4J100BA03P ,  4J100BA03R ,  4J100BA11S ,  4J100BA15S ,  4J100BA22T ,  4J100BA75T ,  4J100BA76T ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC09P ,  4J100BC09R ,  4J100BC09T ,  4J100BC43T ,  4J100BC53S ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100FA28 ,  4J100FA30 ,  4J100GC07 ,  4J100GC16 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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