特許
J-GLOBAL ID:201903000490914148

3次元量子構造の評価方法、3次元量子構造評価装置、及びコンピュータプログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 坂本 寛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-002667
公開番号(公開出願番号):特開2019-120668
出願日: 2018年01月11日
公開日(公表日): 2019年07月22日
要約:
【課題】3次元量子構造の形態が変化する場合において、変化した3次元量子構造の評価がその場で行えるようにする。【解決手段】3次元量子構造の評価方法は、3次元量子構造の形態が変化する状況において前記3次元量子構造に波動性ビームを照射して、前記3次元構造による回折強度を測定し、前記回折強度の変化の度合いに関する変化度パラメータを求め、前記変化度パラメータと前記3次元量子構造の形態に依存する値との相関情報に基づいて、前記変化度パラメータから、前記3次元量子構造の形態に依存する値を求めることを含む。【選択図】図1
請求項(抜粋):
3次元量子構造の形態が変化する状況において前記3次元量子構造に波動性ビームを照射して、前記3次元量子構造による回折強度を測定し、 前記回折強度の変化の度合いに関する変化度パラメータを求め、 前記変化度パラメータと前記3次元量子構造の形態に依存する値との相関情報に基づいて、前記変化度パラメータから、前記3次元量子構造の形態に依存する値を求める ことを含む3次元量子構造の評価方法。
IPC (1件):
G01N 23/200
FI (1件):
G01N23/20058
Fターム (7件):
2G001AA03 ,  2G001BA18 ,  2G001CA03 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001KA08 ,  2G001MA04
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)
引用文献:
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