特許
J-GLOBAL ID：201903002201384724
検出装置及び測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
蔵田 昌俊
, 野河 信久
, 峰 隆司
, 河野 直樹
, 井上 正
, 鵜飼 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-048497
公開番号（公開出願番号）：特開2019-158768
出願日： 2018年03月15日
公開日（公表日）： 2019年09月19日
要約：
【課題】検出限界を超えないようにして高精度な検出を行う。【解決手段】少なくとも一部が磁性体である被検出物に電磁波が照射され、該電磁波の特性変化が検出されることにより被検出物が検出される検出装置である。検出装置は、被検出物が配置される表面を備えた検出部と、表面上で被検出物を引き寄せる磁力を発生可能であって、磁力によって被検出物が引き寄せられる範囲の大きさがそれぞれ異なる複数の磁力発生部とを有している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも一部が磁性体である被検出物に電磁波が照射され、該電磁波の特性変化が検出されることにより、前記被検出物が検出される検出装置であって、
前記被検出物が配置される表面を備えた検出部が配置されるように構成されたステージと、
前記表面上で前記被検出物を引き寄せる磁力を発生可能であって、磁力によって前記被検出物が引き寄せられる範囲の大きさがそれぞれ異なる複数の磁力発生部と、
を有する、検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2G059AA01
, 2G059BB08
, 2G059DD12
, 2G059EE02
, 2G059HH05
, 2G059KK01
