特許

J-GLOBAL ID：201903002777743550

ジャイロスコープにおいてモードを整合させるための周波数整合検出方法

発明者： ジエフェン・ヤン ,  ロナルド・エー・カプスタ・ジュニア ,  ジアンロン・チェン
出願人/特許権者： アナログ ディヴァイスィズ インク
代理人 (3件)： 村山 靖彦 ,  実広 信哉 ,  阿部 達彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-156112
公開番号（公開出願番号）：特開2019-045492
出願日： 2018年08月23日
公開日（公表日）： 2019年03月22日
要約：

【課題】微小電気機械システムジャイロスコープにおける駆動信号と感知信号の周波数不整合を検出する方法を提供する。【解決手段】スペクトルがジャイロスコープ100の物理的特性を反映する出力信号を生成し、出力信号を使用して感知信号の周波数fCを決定する。出力信号は、ランダムまたは擬似ランダムノイズ信号を応答信号と相互相関させることによって生成され、応答信号は、ジャイロスコープの周波数応答を模倣するノイズ伝達関数を有するように設計されたシステムにノイズ信号を通過させることによって得られる。ノイズ信号はランダムまたは擬似ランダムであるため、ノイズ信号を応答信号と相互相関させることは、ジャイロスコープのスペクトル特性を明らかにする。計算効率を改善するために、相互相関をノイズ信号および応答信号の復調されたバージョンについて遂行する。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

ジャイロスコープにおける周波数不整合を検出するための方法であって、本方法は、 駆動信号を前記ジャイロスコープに適用することと、 感知信号を前記ジャイロスコープから受信することと、 前記駆動信号と前記感知信号との間の周波数不整合を検出することと、を含み、前記検出は、 ノイズ信号を生成すること、 前記ノイズ信号を復調すること、 前記感知信号から得られた応答信号を復調すること、 前記復調されたノイズ信号を前記復調された応答信号と相関させること、および 前記相関の結果を使用して前記周波数不整合を検出すること、を含む、方法。

IPC (3件)：

G01C 19/572 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00

FI (3件)：

G01C19/5726 ,  H01L29/84 A ,  B81B3/00

Fターム (24件)：

2F105BB02 ,  2F105BB03 ,  2F105BB08 ,  2F105BB09 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11 ,  3C081AA13 ,  3C081BA22 ,  3C081BA33 ,  3C081BA43 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA75 ,  3C081EA02 ,  3C081EA22 ,  4M112AA02 ,  4M112BA08 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112FA01 ,  4M112GA03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 回転率センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-101834   出願人：パナソニック株式会社
• MEMSジャイロスコープを開始するための雑音源
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-575053   出願人：ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
• 改良された振動ジャイロスコープ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2015-519265   出願人：株式会社村田製作所