特許
J-GLOBAL ID：201903003252939298

プラズマ発生装置

発明者：
神藤 高広

神藤 高広 について

, 
池戸 俊之

池戸 俊之 について


出願人/特許権者：
株式会社FUJI

株式会社FUJI について


代理人 (3件)： 特許業務法人ネクスト ,  深津 泰隆 ,  片岡 友希
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016057934
公開番号（公開出願番号）：WO2017-158671
出願日： 2016年03月14日
公開日（公表日）： 2017年09月21日
要約：
プラズマ発生装置では、反応室140が、1対の電極を挿入するための1対の挿入部106と、それら1対の挿入部を連結する連結部108とに区分けされる。そして、連結部が、1対の挿入部より幅狭とされている。このため、連結部の全域および、挿入部から連結部に連続する壁面に沿って放電が生じる。また、連結部は、挿入部より幅狭とされることで、連結部の容積が小さくされている。このため、小さな容積の処理ガスが、連結部の全域および、挿入部から連結部に連続する壁面に沿ってプラズマ化されることで、効率的に処理ガスがプラズマ化される。また、1対の挿入部の各々と連結部との連結箇所が、円滑な面110とされている。これにより、放電による熱が円滑な面の全体に分散され、放電による炭化が抑制される。
請求項（抜粋）：
反応室を有する第1ブロックと、 前記反応室に挿入され、処理ガスを前記反応室内でプラズマ化させるための1対の電極と、 前記反応室内でプラズマ化されたガスを被処理体にむけて噴出するためのノズルと を備え、 前記反応室が、 前記1対の電極を挿入するための1対の第1挿入部と、 前記1対の第1挿入部を連結するとともに、前記1対の第1挿入部より幅狭の第1連結部とに区分けされ、 前記1対の第1挿入部の各々と前記第1連結部との連結箇所が、円滑な面であることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (2件)：
H05H 1/26 ,  H05H 1/32
FI (2件)：
H05H1/26 ,  H05H1/32
Fターム (23件)：
2G084AA13 ,  2G084AA16 ,  2G084BB02 ,  2G084BB04 ,  2G084BB07 ,  2G084BB23 ,  2G084BB27 ,  2G084BB37 ,  2G084CC18 ,  2G084CC19 ,  2G084CC23 ,  2G084CC33 ,  2G084CC34 ,  2G084DD12 ,  2G084DD22 ,  2G084DD66 ,  2G084FF02 ,  2G084FF15 ,  2G084FF39 ,  2G084GG04 ,  2G084GG07 ,  2G084GG18 ,  2G084GG24
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 反応種供給装置および表面等処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-149525   出願人：国立大学法人名古屋大学, NUエコ・エンジニアリング株式会社, 富士機械製造株式会社
  • 特開平3-290928号公報

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