特許
J-GLOBAL ID：201903004972317690

熱線式流量計

発明者：
西田 将志

西田 将志 について

, 
伊藤 秀文

伊藤 秀文 について


出願人/特許権者：
愛知時計電機株式会社

愛知時計電機株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人ネクスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-089872
公開番号（公開出願番号）：特開2019-196933
出願日： 2018年05月08日
公開日（公表日）： 2019年11月14日
要約：
【課題】漏れ電流の発生を抑制しつつ、被計測流体の流量を精度良く測定することが可能となる熱線式流量計を提供する。【解決手段】本発明の熱線式流量計は、ヒータと第1及び第2測温センサを備え、これらを用いて被計測流体の流量を計測するものである。そして、ヒータ及び第1及び第2測温センサは、それぞれ、メッシュ状のシリコン窒化膜111a,111b,111c上に、金属薄膜を含む回路パターン112a,112b,112cを形成し、その上に、保護膜として、シリコン窒化膜113a,113b,113cを成膜し、さらに、その周囲をパリレン(登録商標)膜114a,114b,114cで覆うことによって形成されている。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
薄膜が成膜されるシリコン基板と、 前記薄膜をメッシュ状に形成してなる薄膜形成部の表面上の一部に形成された金属薄膜を含む第1回路パターンと、 前記薄膜形成部の表面上の他の一部に形成された金属薄膜を含む第2回路パターンと、 前記薄膜形成部の表面上のさらに他の一部に形成された金属薄膜を含む第3回路パターンと、 を有し、 前記第1〜第3回路パターンはいずれも、その表面上をシリコン窒化膜又はシリコン酸化膜を含む第1保護膜によって覆われた上に、さらに、その周囲をパラキシリレン系樹脂を含む薄膜である第2保護膜によって覆われ、 当該第1回路パターンは、ヒータとして機能し、 当該第2及び第3回路パターンはそれぞれ、測温センサとして機能する ことを特徴とする熱線式流量計。
IPC (1件)：
G01F 1/692
FI (2件)：
G01F1/692 A ,  G01F1/692 B
Fターム (2件)：
2F035EA05 ,  2F035EA08
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM