特許
J-GLOBAL ID:201903007691583314
圧電素子、振動子、振動波モータ、光学機器および電子機器
発明者:
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-089410
公開番号(公開出願番号):特開2018-207098
出願日: 2018年05月07日
公開日(公表日): 2018年12月27日
要約:
【課題】 高効率で駆動可能な非鉛系圧電素子を提供することを目的とする。【解決手段】 課題を解決するための本願発明は、圧電材料層と電極層が交互に積層された圧電素子において、圧電材料層は複数の結晶粒と複数の空隙部を有し、圧電材料層の少なくとも1層が、圧電材料層の積層方向の平均厚さをTP、複数の結晶粒の平均円相当径をDG、電極層と接しない複数の空隙部の積層方向の最大長さをLV、少なくとも一つの圧電材料層に接する電極層の平均厚さをTEとしたとき、0.07TP≦DG≦0.33TP、TE≦LV≦0.3TP、かつ鉛の含有量が1000ppm未満であることを特徴とする。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
圧電材料層と電極層が交互に積層された圧電素子において、
前記圧電材料層は複数の結晶粒と複数の空隙部を有し、
前記圧電材料層の少なくとも1層が、
前記圧電材料層の積層方向の平均厚さをTP、前記複数の結晶粒の平均円相当径をDG、前記電極層と接しない前記複数の空隙部の積層方向の最大長さをLV、少なくとも一つの前記圧電材料層に接する電極層の平均厚さをTEとしたとき、0.07TP≦DG≦0.33TP、TE≦LV≦0.3TP、かつ鉛の含有量が1000ppm未満である。
IPC (6件):
H01L 41/083
, H01L 41/187
, H01L 41/09
, H01L 41/257
, H02N 2/04
, G02B 7/04
FI (6件):
H01L41/083
, H01L41/187
, H01L41/09
, H01L41/257
, H02N2/04
, G02B7/04 E
Fターム (11件):
2H044BE04
, 5H681BB02
, 5H681BB14
, 5H681BC01
, 5H681DD23
, 5H681DD37
, 5H681DD74
, 5H681EE12
, 5H681GG01
, 5H681GG42
, 5H681GG43
引用特許:
前のページに戻る