特許
J-GLOBAL ID：201903007742758319
結晶育成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-034910
公開番号（公開出願番号）：特開2017-149622
特許番号：特許第6536428号
出願日： 2016年02月25日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 結晶原料を保持可能な坩堝と、
該坩堝を覆うチャンバーと、
種結晶を保持可能な種結晶保持部と、
該種結晶保持部を前記坩堝の上方で保持可能であるとともに、該種結晶保持部を昇降可能な第1の昇降機構部と、
該第1の昇降機構部を昇降可能な第2の昇降機構部と、を有し、
前記第1の昇降機構部は、前記種結晶保持部を少なくとも前記坩堝の上端よりも下方の位置から前記チャンバーの上端よりも上方の位置まで昇降可能であり、
前記第1の昇降機構部は、上面視において少なくとも一部が前記チャンバーと重なる所定位置に配置され、
前記第2の昇降機構部は、前記第1の昇降機構部の下端が前記所定位置において前記チャンバーの上端よりも下方に来るまで前記第1の昇降機構部を下降させることが可能であり、
前記チャンバーは移動可能であり、前記第1の昇降機構部の下端が前記チャンバーの上端よりも下方に移動することを妨げないように構成されている結晶育成装置。
IPC (2件)：
C30B 15/30 ( 200 6.01)
, C30B 29/06 ( 200 6.01)
C30B 15/30
, C30B 29/06 502 F
