特許
J-GLOBAL ID：201903008065241181
金属シャドーマスク及びその製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有馬 百子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-178150
公開番号（公開出願番号）：特開2019-157262
出願日： 2018年09月21日
公開日（公表日）： 2019年09月19日
要約：
【課題】ガラス基板への蒸着においてシャドー現象が生じやすいという問題を解決することができる金属シャドーマスク及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明は、金属シャドーマスクを開示する。当該製造方法は、基板を用意し、感光膜の付着、露光と現像、及び電鋳を含むプロセスを繰り返す。この方法により、対向する2つの側面の開口部の直径が異なる金属シャドーマスクを得ることができる。そして直径の大きさの変化により、金属シャドーマスクに段状構造の蒸着角を付与する。【効果】本発明では、多層電鋳の方法により金属シャドーマスクに蒸着角を形成することにより、蒸着が不均一となり、シャドーが発生しやすいという従来技術の問題を解決することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
金属シャドーマスクの製造方法であって、
基板を用意する工程と、
前記基板上に1回目の感光膜を配置する工程と、
露光及び現像を行って、前記1回目の感光膜を用いて前記基板に複数の第1の構造を形成する工程と、
前記基板上に第1の金属層を形成する工程と、
前記複数の第1の構造を除去して、前記第1の金属層に前記複数の第1の構造に対応する複数の第1の開口部を形成する工程と、
前記第1の金属層に2回目の感光膜を配置する工程と、
露光及び現像を行って、前記2回目の感光膜を用いて、前記複数の第1の開口部に対応し、且つ前記第1の開口部よりも寸法が大きい複数の第2の構造を形成する工程と、
前記第1の金属層上に第2の金属層を形成し、前記第1の金属層と結合して金属シャドーマスクとする工程と、
前記複数の第2の構造を除去して、前記第2の金属層に前記複数の第1の開口部に対応する複数の第2の開口部を形成する工程と、を含むことを特徴とする金属シャドーマスクの製造方法。
IPC (5件)：
C25D 1/08
, H01L 51/50
, H05B 33/10
, C23C 14/04
, C25D 1/00
C25D1/08 311
, H05B33/14 A
, H05B33/10
, C23C14/04 A
, C25D1/00 311
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC02
, 3K107CC33
, 3K107CC45
, 3K107FF00
, 3K107FF15
, 3K107GG04
, 3K107GG33
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
