特許
J-GLOBAL ID：200903081425474028
蒸着マスクおよびその製造方法並びに有機電界発光装置およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-353460
公開番号（公開出願番号）：特開2003-231964
出願日： 2002年12月05日
公開日（公表日）： 2003年08月19日
要約：
【要約】【課題】補強線幅をできるかぎり細くすることが可能な蒸着マスクとその製造方法を提供し、その蒸着マスクを使用することで開口率の高い有機電界発光装置を提供すること。【解決手段】蒸着材料を基板に蒸着する際に使用される蒸着パターンに対応した開口部配列をもつ蒸着マスクであって、前記蒸着マスクは複数の層から構成され、蒸着する際に基板側に位置する1層目はマスク部分と補強線から成り、前記1層目に前記蒸着パターンに対応した開口部aが形成され、2層目もしくは2層目以降の層に前記1層目の開口部aよりも大きい開口部bが形成され、前記開口部bが、前記1層目の開口部aおよび補強線を露出させたことを特徴とする蒸着マスク。
請求項（抜粋）：
蒸着材料を基板に蒸着する際に使用される蒸着パターンに対応した開口部配列をもつ蒸着マスクであって、前記蒸着マスクは複数の層から構成され、蒸着する際に基板側に位置する1層目はマスク部分と補強線から成り、前記1層目に前記蒸着パターンに対応した開口部aが形成され、2層目もしくは2層目以降の層に前記1層目の開口部aよりも大きい開口部bが形成され、前記開口部bが、前記1層目の開口部aおよび補強線を露出させたことを特徴とする蒸着マスク。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, H05B 33/10
, H05B 33/14
C23C 14/24 G
, H05B 33/10
, H05B 33/14 A
3K007AB02
, 3K007AB11
, 3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029HA03
, 4K029HA04
