特許

J-GLOBAL ID：201903008561151290

X線装置

発明者： ベン・プライス ,  マイケル・ビーチェイ ,  ジェームズ・スミス
出願人/特許権者： ニコン・メトロロジー・エヌヴェ
代理人 (3件)： 村山 靖彦 ,  実広 信哉 ,  阿部 達彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-098659
公開番号（公開出願番号）：特開2018-159712
特許番号：特許第6603752号
出願日： 2018年05月23日
公開日（公表日）： 2018年10月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 X線装置用の支持装置であって、 サンプル台、X線検出器、およびX線源を封入する封入筐体の基底部分と、 前記サンプル台を支持するための支持部分と、 前記基底部分に設けられた第1ベアリング要素および前記支持部分に設けられた第2ベアリング要素を有するベアリング機構であり、前記第1ベアリング要素が前記第2ベアリング要素に接触した状態で、前記支持部分を前記基底部分に対して第1の位置から第2の位置へ移動させることを可能にする、ベアリング機構と、 前記基底部分に設けられた昇降装置であり、前記支持部分を前記第2の位置から第3の位置へ移動させ、それによって前記第1ベアリング要素と前記第2ベアリング要素とを相対的に分離するように配置された、昇降装置と を備える支持装置。

IPC (5件)：

G01N 23/06 ( 201 8.01) ,  F16C 29/04 ( 200 6.01) ,  F16F 15/04 ( 200 6.01) ,  F16F 15/02 ( 200 6.01) ,  G01N 23/04 ( 201 8.01)

FI (6件)：

G01N 23/06 ,  F16C 29/04 ,  F16F 15/04 E ,  F16F 15/04 F ,  F16F 15/02 A ,  G01N 23/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 断層撮影装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-111015   出願人：株式会社東芝
• X線非破壊検査方法及びイメージRT装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-029248   出願人：バブコック日立株式会社
• 収納庫
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-177916   出願人：日本軽金属株式会社
• X線操作装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-519870   出願人：デイジプレシジョンインダストリーズリミテッド