特許
J-GLOBAL ID：201903009143355721
フィルムとウェハの分離装置及び分離方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-124685
公開番号（公開出願番号）：特開2019-106526
出願日： 2018年06月29日
公開日（公表日）： 2019年06月27日
要約：
【課題】フィルムとウェハを分離する場合に吸着機構の真空を破壊するという問題を解決する。【解決手段】台座、第1の吸着板9、第2の吸着板11、駆動機構、揺動レバー7及びクランプ機構を含み、第1の吸着板が台座に水平に取り付けられ、第1の吸着板にウェハ22が吸着され、揺動レバー7の一端が駆動機構に接続され、他端がクランプ機構に接続され、駆動機構が揺動レバー及びクランプ機構を鉛直平面内に揺動させ、クランプ機構がフィルムのエッジでフィルム21をクランプする。第1の吸着板はウェハを吸着し、駆動機構は、揺動レバーを駆動して揺動レバー及びクランプ機構をフィルムの上方に回転させ、クランプ機構でフィルムをクランプし固定し、駆動機構は、揺動レバーを揺動するように逆方向に駆動し、揺動レバー及びクランプ機構の作用で、フィルムとウェハの分離を実現する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
台座、第1の吸着板、駆動機構、揺動レバー及びクランプ機構を含み、
前記第1の吸着板は、前記台座に水平に取り付けられ、分離されるフィルムとウェハは、前記第1の吸着板に配置され、前記第1の吸着板と前記ウェハの下面が貼り付けられて吸着され、前記揺動レバーの一端が前記駆動機構に接続され、他端が前記クランプ機構に接続され、前記駆動機構が前記揺動レバー及び前記クランプ機構を鉛直平面内に揺動するように駆動して前記第1の吸着板に近接するか又は前記第1の吸着板から離れ、前記クランプ機構が前記フィルムのエッジで前記フィルムをクランプすることを特徴とするフィルムとウェハの分離装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
3F053AA01
, 3F053AA15
, 3F053AA24
, 3F053LA15
, 3F053LB08
, 3F053LB12
, 5F131AA02
, 5F131AA34
, 5F131CA09
, 5F131EA07
, 5F131EB01
, 5F131EB58
, 5F131EB78
, 5F131EC32
, 5F131EC77
