特許
J-GLOBAL ID：201903009399692210

テンプレート基板、テンプレート基板の製造方法、及び半導体装置の製造方法

発明者：
ミトラ オヌポン

ミトラ オヌポン について


出願人/特許権者：
東芝メモリ株式会社

東芝メモリ株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-174972
公開番号（公開出願番号）：特開2019-050343
出願日： 2017年09月12日
公開日（公表日）： 2019年03月28日
要約：
【課題】一つの実施形態は、新規な構造を提供できるテンプレート基板、テンプレート基板の製造方法、及び半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】一つの実施形態によれば、パターン形成に用いられるテンプレート基板が提供される。テンプレート基板は、基板の第1面上に台座部を有する。テンプレート基板は、基板の第1面と対向する第2面に開口領域を有する。開口領域は、第2面側の開口端および第1面側の底面を含む。開口端の面積と底面の面積が異なる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
パターン形成に用いられるテンプレート基板であって、 基板の第1面上に台座部を有し、 前記基板の前記第1面と対向する第2面に開口領域を有し、前記開口領域は前記第2面側の開口端および前記第1面側の底面を含み、 前記開口端の面積と前記底面の面積が異なる、 テンプレート基板。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  B29C 33/38
FI (2件)：
H01L21/30 502D ,  B29C33/38
Fターム (19件)：
4F202AA44 ,  4F202AF01 ,  4F202AH33 ,  4F202AJ06 ,  4F202CA09 ,  4F202CB01 ,  4F202CD30 ,  4F202CK90 ,  4F202CL02 ,  4F202CM26 ,  4F202CM30 ,  5F146AA32 ,  5F146AA34 ,  5F146CC04 ,  5F146CC09 ,  5F146CC10 ,  5F146CC11 ,  5F146CC14 ,  5F146JA27
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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