特許
J-GLOBAL ID：201903009906133091
炭化タンタル被覆炭素材料及びその製造方法、半導体単結晶製造装置用部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
折坂 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-191578
公開番号（公開出願番号）：特開2019-099453
出願日： 2018年10月10日
公開日（公表日）： 2019年06月24日
要約：
【課題】製品寿命の長い半導体単結晶製造装置用部材及び炭化タンタル被覆炭素材料を提供する。【解決手段】本発明に係る炭化タンタル被覆炭素材料は、炭素基材表面の少なくとも一部を、炭化タンタルを主成分とした炭化タンタル被覆膜で被覆した炭化タンタル被覆炭素材料であって、炭化タンタル被覆膜は、面外方向について(200)面に対応するX線回折線の強度が、他の結晶面に対応するX線回折線の強度よりも大きく、その強度比は全結晶面に対応するX線回折線の強度の和に対して60%以上であることを特徴とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
炭素基材表面の少なくとも一部を、炭化タンタルを主成分とした炭化タンタル被覆膜で被覆した炭化タンタル被覆炭素材料であって、
炭化タンタル被覆膜は、面外方向について(200)面に対応するX線回折線の強度が、他の結晶面に対応するX線回折線の強度よりも大きく、その強度比は全結晶面に対応するX線回折線の強度の和に対して60%以上であることを特徴とする炭化タンタル被覆炭素材料。
IPC (7件)：
C30B 29/62
, C30B 23/06
, C30B 25/20
, C23C 16/32
, C01B 32/914
, C01B 32/00
, H01L 21/205
C30B29/62 J
, C30B23/06
, C30B25/20
, C23C16/32
, C01B32/914
, C01B32/00
, H01L21/205
4G077AA03
, 4G077AB01
, 4G077BE07
, 4G077BE08
, 4G077DA02
, 4G077DB05
, 4G077DB07
, 4G077EA02
, 4G077EB01
, 4G077ED06
, 4G077EG02
, 4G077FG11
, 4G077GA01
, 4G077GA03
, 4G077GA05
, 4G077GA10
, 4G077HA06
, 4G077HA12
, 4G077HA20
, 4G077TA04
, 4G077TA07
, 4G077TB02
, 4G077TB12
, 4G077TC06
, 4G077TC08
, 4G077TE03
, 4G077TF03
, 4G146AA01
, 4G146AA26
, 4G146AB07
, 4G146AC30A
, 4G146AC30B
, 4G146AD15
, 4G146AD30
, 4G146CB11
, 4G146CB13
, 4G146CB17
, 4G146CB19
, 4G146CB23
, 4G146CB32
, 4G146DA21
, 4G146DA23
, 4G146DA47
, 4G146MA20
, 4G146MB03
, 4G146MB07
, 4G146MB12
, 4G146MB19A
, 4G146MB19B
, 4G146MB23
, 4G146NA12
, 4G146NB18
, 4G146PA06
, 4G146PA12
, 4G146PA17
, 4G146QA01
, 4G146QA04
, 4K030AA03
, 4K030AA10
, 4K030AA16
, 4K030BA17
, 4K030BA36
, 4K030BB03
, 4K030CA01
, 4K030CA11
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, 4K030DA09
, 4K030EA01
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, 4K030GA02
, 4K030GA06
, 4K030JA01
, 4K030JA05
, 4K030JA06
, 4K030JA09
, 4K030JA10
, 5F045AB06
, 5F045EC05
