特許
J-GLOBAL ID：201903010433345221
圧電体薄膜、圧電素子および圧電発電装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
須田 篤
, 楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-056263
公開番号（公開出願番号）：特開2019-169612
出願日： 2018年03月23日
公開日（公表日）： 2019年10月03日
要約：
【課題】より優れた性能指数(FoM)を有する圧電体薄膜、圧電素子および圧電発電装置を提供する。【解決手段】圧電体薄膜は、(MgHf)xAl1-xN薄膜10から成り、xは0.15以上0.5以下である。圧電素子20は、Pt/Ti層12から成る第1の電極と、Pt/Ti層12の表面に設けられた(MgHf)xAl1-xN薄膜10と、その薄膜10のPt/Ti層12とは反対側の面に設けられた、Au/Cr層14から成る第2の電極とを有している。圧電発電装置30は、その圧電素子20の振動により発電可能に構成されている。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
(MgHf)xAl1-xNの薄膜から成り、xは0.15以上0.5以下であることを特徴とする圧電体薄膜。
IPC (5件)：
H01L 41/187
, H01L 41/113
, H01L 41/047
, H02N 2/18
, C23C 14/06
H01L41/187
, H01L41/113
, H01L41/047
, H02N2/18
, C23C14/06 L
4K029AA06
, 4K029AA24
, 4K029BA58
, 4K029BD00
, 4K029CA06
, 4K029DC04
, 4K029DC05
, 4K029DC15
, 4K029DC16
, 4K029DC37
, 5H681AA06
, 5H681BB01
, 5H681BB08
, 5H681BB14
, 5H681DD15
, 5H681DD23
, 5H681DD45
, 5H681DD53
, 5H681DD82
, 5H681GG01
審査官引用 (2件)
-
圧電薄膜共振子
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-141846
出願人：宇部エレクトロニクス株式会社
-
発電装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2013-109370
出願人：パナソニック株式会社
引用文献：
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