特許
J-GLOBAL ID:201903010836538585

磁気異方性評価装置、磁気異方性評価方法および演算機構

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人 谷・阿部特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-079748
公開番号(公開出願番号):特開2019-190836
出願日: 2018年04月18日
公開日(公表日): 2019年10月31日
要約:
【課題】磁性薄膜における磁気異方性評価を正確に行う手段を提供する。【解決手段】本発明の磁気異方性評価方法は、平坦な平面を有する薄膜の磁性体のホール抵抗を測定するステップと、前記磁性体に磁界を印加するステップと、前記磁性体のホール抵抗の印加磁界角度依存性から、磁気トルク曲線を演算するステップ、及び前記演算した磁気トルク曲線から磁気異方性定数を演算するするステップと、を備えたことを特徴とする。【選択図】図3
請求項(抜粋):
平坦な平面を有する薄膜の磁性体のホール抵抗を測定する機構と、 前記磁性体に磁界を印加する機構と、 前記磁性体のホール抵抗の印加磁界角度依存性から、磁気トルク曲線を演算する第1の演算と、 前記演算した磁気トルク曲線から磁気異方性定数を演算するための第2の演算する機構と、 を備えたことを特徴とする磁気異方性評価装置。
IPC (2件):
G01L 3/14 ,  G11B 5/84
FI (2件):
G01L3/14 Z ,  G11B5/84 C
Fターム (2件):
5D112AA05 ,  5D112JJ07

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