特許
J-GLOBAL ID：201903010928386986
断面厚を改善した高分解能2D顕微鏡法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
曾我 道治
, 梶並 順
, 大井 一郎
, 金山 明日香
, 加藤 勇蔵
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-155090
公開番号（公開出願番号）：特開2019-040185
出願日： 2018年08月22日
公開日（公表日）： 2019年03月14日
要約：
【課題】2Dエアリースキャン顕微鏡法での光学断面厚を改善する。【解決手段】試料Pは、ポイントにおいて回折限界照明スポット14を形成するように照明放射線Bで照明され、ポイントは、空間分解表面検出器17上の回折像18に撮像され、表面検出器17は、回折像18の回折構造18aを分解する空間分解能を有し、ポイントは、照明スポット14の直径の半分未満の増分で試料P上で走査され、試料Pの2D像が生成され、2D像は、撮像の分解能限界を超えて増大される分解能を有し、z位置における複数の走査位置に割り当てられた表面検出器17のデータは、暫定深さ分解3D像を提供する三次元逆重畳の実行に使用され、撮像により生成される断面厚さ未満の低断面厚が指定又は予め決定され、暫定深さ分解3D像において、z位置の周囲の低断面厚に位置する部分のみが選択され、z位置の周囲の低断面厚外にある部分は、2D像を生成するために破棄される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
-試料(P)は、照明放射線(B)が前記試料(P)内又は前記試料(P)上で集束して、ポイントにおいて回折限界照明スポット(14)を形成するように照明放射線で照明され、
-前記ポイントは、空間分解表面検出器(17)上の回折像(18)に回折限界的に撮像され、前記表面検出器(17)は、前記回折像(18)の回折構造(18a)を分解する空間分解能を有し、
-撮像点広がり関数も照明点広がり関数も、非対称を生成するように操作されず、
-前記ポイントは、前記照明スポット(14)の直径の半分未満の増分で前記試料(P)に相対して異なる走査位置に変位され、前記撮像の焦点面のz位置を固定したまま、複数の走査位置が走査され、
-前記表面検出器(17)は読み取られ、前記試料(P)の2D像が、前記表面検出器(17)のデータ及び前記データに割り当てられた前記走査位置から生成され、前記2D像は、撮像の分解能限界を超えて増大される分解能を有する、前記試料(P)の高分解能2D走査顕微鏡方法において、
-前記焦点面の前記固定されたz位置における前記複数の走査位置に割り当てられた前記表面検出器(17)の前記データは、暫定深さ分解3D像を提供する三次元逆重畳の実行に使用され、
-前記撮像により生成される断面厚さ未満の低断面厚が指定又は予め決定され、
-前記暫定深さ分解3D像において、前記焦点面の前記固定されたz位置の周囲の前記低断面厚に位置する部分のみが選択され、前記焦点面の前記固定されたz位置の周囲の前記低断面厚外にある部分は、前記2D像を生成するために破棄される
ことを特徴とする方法。
IPC (3件)：
G02B 21/36
, G02B 21/06
, G01N 21/17
G02B21/36
, G02B21/06
, G01N21/17 610
2G059AA05
, 2G059EE02
, 2G059FF02
, 2G059FF03
, 2G059GG01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ22
, 2G059KK04
, 2G059LL01
, 2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AB01
, 2H052AC26
, 2H052AF14
, 2H052AF25
