特許

J-GLOBAL ID：201903012322656743

EFEM

発明者： 河合 俊宏 ,  小倉 源五郎
出願人/特許権者： シンフォニアテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人梶・須原特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-048429
公開番号（公開出願番号）：特開2019-161115
出願日： 2018年03月15日
公開日（公表日）： 2019年09月19日
要約：

【課題】不活性ガスの供給流量を変更したときの循環路内の圧力変動を抑制すること。【解決手段】EFEMは、循環路に供給される前記不活性ガスの供給流量を変更可能な供給バルブと、循環路から排出されるガスの排出流量を変更可能な排出バルブと、循環路内の雰囲気の変化を検出する濃度検出部と、循環路内の圧力を検出する圧力検出部と、供給バルブ及び前記排出バルブを制御する制御部と、を備える。制御部は、濃度検出部の検出結果に基づいて、排出バルブの開度を、予め定められた値に決定する。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

不活性ガスを循環させるための循環路が形成されたEFEMであって、 前記循環路に供給される前記不活性ガスの供給流量を変更可能な供給バルブと、 前記循環路から排出されるガスの排出流量を変更可能な排出バルブと、 前記循環路内の雰囲気の変化を検出する濃度検出部と、 前記循環路内の圧力を検出する圧力検出部と、 前記供給バルブ及び前記排出バルブを制御する制御部と、を備え、 前記制御部は、 前記濃度検出部の検出結果に基づいて、前記排出バルブの開度を、予め定められた値に決定することを特徴とするEFEM。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (50件)：

5F131AA02 ,  5F131CA12 ,  5F131CA62 ,  5F131CA63 ,  5F131DA05 ,  5F131DA22 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DB52 ,  5F131DC06 ,  5F131DD03 ,  5F131DD33 ,  5F131DD43 ,  5F131DD67 ,  5F131DD76 ,  5F131DD92 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131GA14 ,  5F131GA88 ,  5F131HA02 ,  5F131HA29 ,  5F131JA08 ,  5F131JA12 ,  5F131JA15 ,  5F131JA16 ,  5F131JA20 ,  5F131JA23 ,  5F131JA24 ,  5F131JA25 ,  5F131JA26 ,  5F131JA27 ,  5F131JA28 ,  5F131JA32 ,  5F131JA33 ,  5F131JA34 ,  5F131JA35 ,  5F131KA06 ,  5F131KA22 ,  5F131KA24 ,  5F131KA40 ,  5F131KA44 ,  5F131KA72 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32 ,  5F131KB44 ,  5F131KB53 ,  5F131KB58

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-120857   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• 搬送室
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-038388   出願人：シンフォニアテクノロジー株式会社
• EFEMシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2016-200564   出願人：TDK株式会社
• ミニエンバイロメント装置及びその内部雰囲気置換方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-178936   出願人：株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ

審査官引用 (2件)

• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-120857   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• EFEMシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2016-200564   出願人：TDK株式会社