特許
J-GLOBAL ID：201903012649350087
金属窒化物生成装置及び金属窒化物生成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
棚井 澄雄
, 大浪 一徳
, 伏見 俊介
, 西澤 和純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-109411
公開番号（公開出願番号）：特開2018-203560
出願日： 2017年06月01日
公開日（公表日）： 2018年12月27日
要約：
【課題】低温の非熱平衡プラズマを用いて金属酸化物から金属窒化物を生成することができる金属窒化物生成装置、金属窒化物生成方法を提供すること。【解決手段】本発明は、第1電極と、第1電極と離間して配置された第2電極と、第1電極と第2電極との間に形成された空間に窒素を含む気体の雰囲気を形成する気体注入部と、第1電極と第2電極との間に電圧を加え、空間に金属酸化物が配置された状態で、雰囲気における空間に放電してプラズマ状態を生成する電源部と、を備える、金属窒化物生成装置である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1電極と、
前記第1電極と離間して配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に形成された空間に窒素を含む気体の雰囲気を形成する気体注入部と、
前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を加え、前記空間に金属酸化物が配置された状態で、前記雰囲気における前記空間に放電してプラズマ状態を生成する電源部と、
を備える、
金属窒化物生成装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
C01B21/06 M
, C01B21/06 A
