ガラスキャリアウェハー用の低CTEボロアルミノシリケートガラス

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：アインゼル・フェリックス=ラインハルト , 森田拓 , 前川純一 , 二宮浩康 , 上島類
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-540104
公開番号（公開出願番号）：特表2019-505471
出願日： 2016年02月02日
公開日（公表日）： 2019年02月28日
要約：

本発明は、以下のモル%での組成:SiO2:60〜85、Al2O3:1〜17、B2O3:8〜20、Na2O:0〜5、K2O:0〜5、MgO:0〜10、CaO:0〜10、SrO:0〜10、BaO:0〜10を有する低脆性の低CTEボロアルミノシリケートガラスであって、特にウェハーレベルパッケージング(WLP)用途での使用に向けた低CTEボロアルミノシリケートガラスにおいて、多面体1つあたりの非架橋酸素の平均数(NBO)は、-0.2以上であり、比B2O3/Al2O3は、0.5以上であり、ここで、前記NBOは、NBO=2×Omol/(Simol+Almol+Bmol)-4と定義される、低CTEボロアルミノシリケートガラスに関する。本発明はまた、該低CTEボロアルミノシリケートガラス製のガラスキャリアウェハーおよびシリコン基板を処理するためのガラスキャリアウェハーとしてのその使用に関する。本発明はさらに、低CTEボロアルミノシリケートガラスを提供する方法に関する。

請求項（抜粋）：

以下のモル%での組成:

IPC (2件)：

C03C 3/091 , H01L 21/301

FI (2件)：

C03C3/091 , H01L21/78 M

Fターム (89件)：

4G062AA01 , 4G062BB01 , 4G062BB05 , 4G062CC01 , 4G062DA06 , 4G062DA07 , 4G062DB02 , 4G062DB03 , 4G062DB04 , 4G062DC03 , 4G062DC04 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EB01 , 4G062EB02 , 4G062EB03 , 4G062EC01 , 4G062EC02 , 4G062EC03 , 4G062ED01 , 4G062ED02 , 4G062ED03 , 4G062ED04 , 4G062EE01 , 4G062EE02 , 4G062EE03 , 4G062EE04 , 4G062EF01 , 4G062EF02 , 4G062EF03 , 4G062EF04 , 4G062EG01 , 4G062EG02 , 4G062EG03 , 4G062EG04 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM27 , 4G062MM28 , 4G062MM36 , 4G062NN30 , 5F063AA36 , 5F063AA43 , 5F063BA11 , 5F063BA18 , 5F063BA32 , 5F063CB05 , 5F063CB25 , 5F063CC21 , 5F063DD08 , 5F063EE36

引用特許：

審査官引用 (6件)

アルミノホウ珪酸ガラス
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-086888 出願人：ショットアクチエンゲゼルシャフト
無アルカリガラスおよび無アルカリガラス基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-140231 出願人：日本電気硝子株式会社
半導体パッケージの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-015704 出願人：株式会社フジクラ

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