特許
J-GLOBAL ID：201903014515867043

物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法

発明者：
青木 保夫

青木 保夫 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-180149
公開番号（公開出願番号）：特開2019-012846
出願日： 2018年09月26日
公開日（公表日）： 2019年01月24日
要約：
【課題】物体支持装置上の物体の交換を迅速に行う。【解決手段】 搬出対象の基板Paを支持する第1エア浮上ユニット69の+X側に、搬入対象の基板Pbを支持する第2エア浮上ユニット70が配置され、第2エア浮上ユニット70の下方に第3エア浮上ユニット75がθy方向に傾斜して配置されている。第1エア浮上ユニット69が第3エア浮上ユニット75に合わせてθy方向に傾斜されて、基板Paが第1エア浮上ユニット69上から第3エア浮上ユニット75上に搬送された後、第1エア浮上ユニット69が水平にされ、基板Pbが第2エア浮上ユニット70上から第1エア浮上ユニット69上に搬送される。すなわち、第1エア浮上ユニット69に対する基板の搬入経路と搬出経路が異なる。したがって、第1エア浮上ユニット69上の基板の交換を迅速に行うことができる。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
物体を非接触支持する支持部と、 非接触支持された前記物体を保持する保持部と、 前記物体を保持する前記保持部と、前記物体を非接触支持した状態で前記支持部との一方を他方に対して上下方向へ相対移動させる駆動部と、 前記駆動部による移動により前記保持部の保持が解除された前記物体を、前記支持部上から搬送する搬送部と、を備える物体搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/677 ,  G03F 7/20 ,  B65G 47/68 ,  B65G 49/06
FI (4件)：
H01L21/68 A ,  G03F7/20 501 ,  B65G47/68 A ,  B65G49/06 A
Fターム (62件)：
2H197AA09 ,  2H197CA03 ,  2H197CA05 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD22 ,  2H197CD23 ,  2H197CD25 ,  2H197CD29 ,  2H197CD35 ,  2H197CD41 ,  2H197CD42 ,  2H197CD45 ,  2H197CD48 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  3F070AA14 ,  3F070AA28 ,  3F070BD01 ,  3F070EA02 ,  3F070EE12 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA10 ,  5F131AA12 ,  5F131AA32 ,  5F131BA13 ,  5F131CA32 ,  5F131DA02 ,  5F131DA09 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DA55 ,  5F131DA68 ,  5F131DB72 ,  5F131DC12 ,  5F131DC15 ,  5F131DC19 ,  5F131DC23 ,  5F131EA02 ,  5F131EA13 ,  5F131EA14 ,  5F131EA15 ,  5F131EA16 ,  5F131EA17 ,  5F131EA18 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EA25 ,  5F131EB41 ,  5F131EB75 ,  5F131EB89 ,  5F131GA05 ,  5F131GA22 ,  5F131GA26 ,  5F131GA32 ,  5F131KA16 ,  5F131KA47 ,  5F131KA72 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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