特許
J-GLOBAL ID：200903075796551629
ステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-346112
公開番号（公開出願番号）：特開2008-159784
出願日： 2006年12月22日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】本発明はステージ装置におけるワークの搬送精度及び搬送効率を高めることを課題とする。【解決手段】ステージ装置10は、水平移動する移動体20と、移動体20が移動する定盤22を支持する架台30と、ワーク40を吸着する吸着テーブル50と、ワーク40を搬入・搬出する搬送ユニット60とを備えてなる。搬送ユニット60は、ベース61が架台30と一体的に固定されており、ワーク40を搬入・搬出する搬送機能と、ワーク40を水平方向(θz方向)に回動させて吸着面52に対するワーク40の位置を調整する位置調整機能とを併せ持つ構成になっており、上下2段に配置されたワーク搬入用の上段ユニット62とワーク搬出用の下段ユニット64とを有する。さらに、搬送ユニット60は、X方向の両側に上段ユニット62、及び下段ユニット64を昇降させて吸着テーブル50に対するワーク40の搬入・搬出を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水平移動する移動体と、
該移動体上に固定され、搬送された薄板状のワークを吸着する吸着面を有する吸着テーブルと、
前記ワークを前記吸着テーブルに搬送し、前記吸着面に対する前記ワークの位置を調整する搬送ユニットと、
を備えたことを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 G
, H01L21/68 A
5F031CA05
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA53
, 5F031GA62
, 5F031HA13
, 5F031HA33
, 5F031JA04
, 5F031JA22
, 5F031JA38
, 5F031JA45
, 5F031JA47
, 5F031PA30
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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