特許
J-GLOBAL ID：201903014713138154
耐摩耗材の製造方法及び耐摩耗材
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
特許業務法人藤本パートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-021118
公開番号（公開出願番号）：特開2019-137885
出願日： 2018年02月08日
公開日（公表日）： 2019年08月22日
要約：
【課題】DLC層を完成させた後に後加工をすることなく、潤滑剤を保持する凹部を容易に形成できる耐摩耗材の製造方法を提供する。【解決手段】スパッタ装置を用いて基材B上にDLC層12を積層させる耐摩耗材1の製造方法であり、前記DLC層12の積層と同時に、スパッタリングにより、DLCを構成する元素以外の第3元素を含む粒子を形成中の前記DLC層12に付着させる工程と、前記スパッタリングを継続することにより、前記DLC層12に一旦付着した前記第3元素を含む粒子を弾き出すことで、前記DLC層の表面に複数の凹部14を形成する工程と、を有する耐摩耗材1の製造方法である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材を移動させるテーブルと、前記テーブル上の前記基材に対して磁場を発生させるコイルと、を有するスパッタ装置を用い、前記基材上にDLC層を積層させる、耐摩耗材の製造方法であり、
前記DLC層の積層と同時に、スパッタリングにより、DLCを構成する元素以外の第3元素を含む粒子を形成中の前記DLC層に付着させる工程と、
前記スパッタリングを継続することにより、前記DLC層に一旦付着した前記第3元素を含む粒子を弾き出すことで、前記DLC層の表面に複数の凹部を形成する工程と、を有する耐摩耗材の製造方法。
IPC (5件)：
C23C 14/06
, C23C 14/34
, F02F 5/00
, F02F 3/10
, F02F 1/00
C23C14/06 F
, C23C14/34 S
, F02F5/00 F
, F02F3/10 B
, F02F1/00 R
3G024AA22
, 3G024BA23
, 3G024EA01
, 3G024FA06
, 3G024FA07
, 3G024GA16
, 4K029AA02
, 4K029AA21
, 4K029BA02
, 4K029BA07
, 4K029BA34
, 4K029BB02
, 4K029BC02
, 4K029BD03
, 4K029BD04
, 4K029BD05
, 4K029CA06
, 4K029DA05
, 4K029DC03
, 4K029DC05
, 4K029DC16
, 4K029DC39
, 4K029JA02
