特許
J-GLOBAL ID:201903015470109289
搬送装置、実装装置、再クランプ方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
青木 宏義
, 天田 昌行
, 溝口 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-083589
公開番号(公開出願番号):特開2019-192767
出願日: 2018年04月25日
公開日(公表日): 2019年10月31日
要約:
【課題】複数のバッファを単一のモータで駆動する際に基板を再クランプすること。【解決手段】搬送方向に沿って設けられた複数のバッファ(B1-B3)で共通の搬送路を単一のモータ(42)で駆動する搬送装置(40)で、所定バッファで基板(W)を再クランプ可能な再クランプ方法であって、所定バッファでクランプ部(51)によって基板をクランプした状態で、他バッファのストッパ(T1、T3)の手前でセンサ(S1、S3)の検知が解除されるまでモータを逆転させ、所定バッファでクランプ部による基板のクランプを解除した状態で、所定バッファのストッパ(T2)の手前でセンサ(S2)の検知が解除されるまでモータを逆転させ、さらに、複数のバッファで搬送路からストッパを突出させた状態で、ストッパに基板が接触するまでモータを正転させてクランプ部で再クランプする構成にした。【選択図】図5
請求項(抜粋):
搬送方向に沿って一時的に基板を待機させる複数のバッファが設けられ、前記複数のバッファで共通の搬送路を単一のモータで駆動する搬送装置であって、
前記複数のバッファで前記搬送路上に出没可能な複数のストッパと、
前記複数のバッファのストッパの手前で基板を検知する複数のセンサと、
前記複数のバッファのうち所定バッファで基板をクランプするクランプ部と、
前記複数のセンサの基板の検知結果に応じて前記モータを制御する制御部とを備え、
前記制御部は、基板の再クランプ時には、前記クランプ部に基板をクランプさせた状態で他バッファのセンサの検知が解除されるまで前記モータを逆転させ、次に、前記クランプ部による基板のクランプを解除して前記所定バッファのセンサで検知が解除されるまで前記モータを逆転させた後、さらに、前記複数のバッファで前記搬送路からストッパを突出させた状態で、前記モータを正転させることを特徴とする搬送装置。
IPC (3件):
H05K 13/04
, B65G 43/00
, B65G 47/28
FI (3件):
H05K13/04 P
, B65G43/00 G
, B65G47/28 D
Fターム (21件):
3F027AA02
, 3F027CA02
, 3F027DA04
, 3F027DA08
, 3F027EA05
, 3F027EA06
, 3F027FA12
, 3F081AA10
, 3F081BD08
, 3F081CC08
, 3F081CE13
, 3F081EA10
, 3F081FA03
, 3F081FB03
, 3F081FB06
, 5E353EE02
, 5E353EE12
, 5E353GG23
, 5E353GG24
, 5E353GG27
, 5E353GG31
引用特許:
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