特許

J-GLOBAL ID：201903015875306782

波長可変干渉フィルターの駆動方法

発明者： 廣久保 望
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (4件)： 渡辺 和昭 ,  磯部 光宏 ,  仲井 智至 ,  松岡 宏紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-028543
公開番号（公開出願番号）：特開2018-128681
特許番号：特許第6566061号
出願日： 2018年02月21日
公開日（公表日）： 2018年08月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 第1静電アクチュエーターに対して、バイアス電圧を印加することにより、第1反射膜と第2反射膜との間の反射膜間ギャップの量を変化させるバイアス電圧印加ステップと、 前記第1反射膜と前記第2反射膜との間の反射膜間ギャップの量を検出するギャップ検出ステップと、 前記第2静電アクチュエーターに対して、前記ギャップ検出ステップにより検出された前記反射膜間ギャップの量に応じたフィードバック電圧を印加するフィードバック電圧印加ステップと、 を含み、 前記第1反射膜の側から前記第2反射膜の側を見たとき、前記第2静電アクチュエーターは、前記第1反射膜と前記第1静電アクチュエーターとの間に配置されることを特徴とする波長可変干渉フィルターの駆動方法。

IPC (4件)：

G02B 26/00 ( 200 6.01) ,  G01J 3/26 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  B81B 7/02 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G02B 26/00 ,  G01J 3/26 ,  B81B 3/00 ,  B81B 7/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 赤外分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-203110   出願人：横河電機株式会社
• ファブリペローフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-241859   出願人：横河電機株式会社