特許
J-GLOBAL ID：201903016274683240
せん断モード応答を高めるために活性領域の機械的締め付けを少なくした音響共振器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
青木 篤
, 三橋 真二
, 渡辺 陽一
, 中島 勝
, 武居 良太郎
, 柴田 潤二
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-526212
公開番号（公開出願番号）：特表2018-537672
出願日： 2016年11月21日
公開日（公表日）： 2018年12月20日
要約：
本開示はせん断モード応答を高めるために活性領域の機械的締め付けを少なくした音響共振器を提供する。詳細には、本開示は圧電材料からなる活性領域を備えた強固に取り付けられたバルク音波共振器装置を提供する。前記活性領域は圧電材料の厚さを薄くした非活性領域によって横方向が囲まれている。活性領域との境界に沿った非活性領域の少なくとも上部では圧電材料が欠けている。前記共振器装置は、活性領域の圧電材料の横方向に対向する両縁に沿って非連続部分を提供し、せん断モード操作時に最大横方向変位の方向における前記活性領域の機械的締め付けを少なくしている。圧電材料からなる活性領域の機械的分離が進むことで前記活性領域の横方向振動の機械的減衰が少なくなり、疑似せん断モード感知のためのせん断モード応答が改善される。
請求項（抜粋）：
微小電気機械システム(MEMS)共振器装置であって、
基板と;
前記基板の少なくとも一部を覆って配置された、バルク音波共振器構造体であって、前記バルク音波共振構造体は、前記基板の一面からの法線に対して大部分が非平行の配向分布を示すC軸を含む圧電材料、前記圧電材料を覆って配置されている上面電極、および前記圧電材料と前記基板の間に配置されている下面電極を含み、ここで前記圧電材料の少なくとも一部は前記上面電極と前記下面電極の間に配置されて活性領域を形成している、バルク音波共振器構造体、
を含み、
ここで前記活性領域は横方向を非活性領域によって囲まれ、前記非活性領域の少なくとも一部の圧電材料の厚さは前記活性領域の圧電材料の厚さより薄く、前記活性領域の境界に沿った前記非活性領域の少なくとも上部に圧電材料を欠いており、前記活性領域の圧電材料の横方向に対向する両縁の少なくとも上側部分に沿って少なくとも1つの非連続部分を規定し、ここで前記少なくとも1つの非連続部分は前記バルク音波共振器構造体のせん断モード操作時に最大横方向変位の方向における前記活性領域の機械的締め付けが少なくなるように構成されている、MEMS共振器装置。
IPC (5件)：
G01N 29/12
, H01L 41/113
, H03H 9/17
, H03H 3/02
, B81B 3/00
G01N29/12
, H01L41/113
, H03H9/17 F
, H03H3/02 B
, B81B3/00
2G047AA04
, 2G047AC13
, 2G047BA04
, 2G047BC04
, 2G047CA01
, 2G047GB13
, 2G047GB21
, 2G047GB28
, 2G047GB32
, 3C081AA01
, 3C081BA11
, 3C081BA42
, 3C081BA55
, 3C081EA22
, 5J108AA09
, 5J108BB07
, 5J108BB08
, 5J108CC04
, 5J108CC08
, 5J108CC11
, 5J108KK01
, 5J108MM11
