特許
J-GLOBAL ID：201903016752987382
ルミネッセンス採光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西村 竜平
, 齊藤 真大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-132685
公開番号（公開出願番号）：特開2019-067749
出願日： 2018年07月12日
公開日（公表日）： 2019年04月25日
要約：
【課題】カソードルミネッセンスを効率よく採光でき、しかも、厚みを従来の装置と比較して飛躍的に小さくできるルミネッセンス採光装置100を提供する。【解決手段】 試料が載置される試料ホルダ11が形成されたホルダ形成部材1と、試料から出る前記カソードルミネッセンスを反射し、所定の採光面Sに導くための反射鏡21が形成された反射鏡形成部材2と、前記ホルダ形成部材1に設けられた当たり面及び反射鏡形成部材2に設けられた当たり面を当接させることによって、前記反射鏡21の前記試料ホルダ11に対する相対位置を予め定められた唯一の所定位置に設定する位置決め機構3とを具備するようにした。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
試料に電子線を照射して発せられるカソードルミネッセンスを採光するものであって、
試料が載置される試料ホルダが形成されたホルダ形成部材と、
試料から出る前記カソードルミネッセンスを反射し、所定の採光面に導くための反射鏡が形成された反射鏡形成部材と、
前記ホルダ形成部材に設けられた当たり面及び反射鏡形成部材に設けられた当たり面を当接させることによって、前記反射鏡の前記試料ホルダに対する相対位置を予め定められた唯一の所定位置に設定する位置決め機構とを具備していることを特徴とするルミネッセンス採光装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01J37/20 Z
, H01J37/20 E
5C001AA08
, 5C001BB02
, 5C001CC03
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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