特許

J-GLOBAL ID：201903019861068981

多孔質静圧空気軸受及びその製造方法

発明者： 宮武 正明 ,  貞弘 稜 ,  中山 将太
出願人/特許権者： 学校法人東京理科大学
代理人 (3件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-085277
公開番号（公開出願番号）：特開2019-190591
出願日： 2018年04月26日
公開日（公表日）： 2019年10月31日
要約：

【課題】製造コストが増加することを抑制する。【解決手段】多孔質静圧空気軸受10は、金属材料を用いて形成され、一方側から他方側へ向けて空気が流れる複数の第1流通孔24を有する多孔質層支持部12を備えている。また、多孔質静圧空気軸受10は、金属材料を用いて形成され、多孔質層支持部12の他方側の面に沿ってこの多孔質層支持部12と一体に形成された多孔質層14を備えている。多孔質層14は、第1流通孔24からの空気が導入されると共にこの空気が多孔質層支持部12とは反対側の面から流出する複数の第2流通孔32を有している。この第2流通孔32から流出した空気によってシャフト34が支持される。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

金属材料を用いて形成され、一方側から他方側へ向けて空気が流れる複数の第1流通部を有する支持部と、 金属材料を用いて形成され、前記支持部の他方側の面に沿って前記支持部と一体に形成され、前記第1流通部からの空気が導入されると共にこの空気が前記支持部とは反対側の面から流出する複数の第2流通部を有し、この第2流通部から流出した空気によって軸部材が支持される多孔質層と、 を備えた多孔質静圧空気軸受。

IPC (2件)：

F16C 32/06 ,  F16C 33/12

FI (2件)：

F16C32/06 B ,  F16C33/12 B

Fターム (22件)：

3J011AA20 ,  3J011BA08 ,  3J011CA10 ,  3J011DA02 ,  3J011KA02 ,  3J011KA03 ,  3J011LA01 ,  3J011SB02 ,  3J011SB19 ,  3J102AA02 ,  3J102BA03 ,  3J102BA17 ,  3J102BA18 ,  3J102CA15 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA19 ,  3J102EA24 ,  3J102EA26 ,  3J102EA29 ,  3J102FA03 ,  3J102FA09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 静圧多孔質軸受及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-197433   出願人：中嶋英雄, 東芝機械株式会社
• 静圧軸受及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-232546   出願人：東芝機械株式会社
• 静圧軸受およびこれを用いた位置決めステージ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-186580   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭62-124320