特許
J-GLOBAL ID：201903021205710752
緩衝性に優れた静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新保 斉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-084757
公開番号（公開出願番号）：特開2019-187222
出願日： 2018年04月26日
公開日（公表日）： 2019年10月24日
要約：
【課題】 ポリイミド材質のチャッキング部の下側にポリエチレンフォーム材質のクッション部が配備されて緩衝性及び復元性に優れていることから、基板の破損を防ぐことのできる緩衝性に優れた静電チャックを提供する。【解決手段】 本発明に係る緩衝性に優れた静電チャックは、静電気力を用いて基板を支持するチャッキング部と、前記チャッキング部の下部に配置されて前記チャッキング部を支持するベースプレートと、プラスチックフォーム系の素材からなり、前記チャッキング部とベースプレートとの間に配備されて前記チャッキング部に支持される基板の破損を防ぐクッション部と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
静電気力を用いて基板を支持するチャッキング部と、
前記チャッキング部の下部に配置されて前記チャッキング部を支持するベースプレートと、
プラスチックフォーム系の素材からなり、前記チャッキング部とベースプレートとの間に配備されて前記チャッキング部に支持される基板の破損を防ぐクッション部と、
を備える緩衝性に優れた静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H02N13/00 D
, H01L21/68 R
5F045BB08
, 5F045CA15
, 5F045EM05
, 5F131AA02
, 5F131AA03
, 5F131AA12
, 5F131AA13
, 5F131AA32
, 5F131AA33
, 5F131AA34
, 5F131CA08
, 5F131CA09
, 5F131CA32
, 5F131CA68
, 5F131EA02
, 5F131EA05
, 5F131EB12
, 5F131EB28
, 5F131EB78
