特許

J-GLOBAL ID：201903021213732773

マイクロコンポーネントデバイスの大量配列方法およびシステム

発明者： チェン、チェー
出願人/特許権者： マブン オプトロニックス カンパニー リミテッド
代理人 (5件)： 原田 卓治 ,  白井 健朗 ,  渡邉 幸男 ,  齋藤 悟郎 ,  佐藤 浩義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-188895
公開番号（公開出願番号）：特開2019-144525
出願日： 2018年10月04日
公開日（公表日）： 2019年08月29日
要約：

【課題】複数のマイクロコンポーネントデバイスを配列するための方法およびシステムを提供する。【解決手段】マイクロコンポーネントデバイスが、第1および第2の方向に沿って、より大きいイニシャルギャップで、互いに離隔するように、マイクロコンポーネントデバイスをリキッドサスペンディングミディアムに浮かぶよう配置する工程、マイクロコンポーネントデバイスが、第1および第2の方向に沿って、より小さい特定のターゲットギャップで、互いに離隔するように、電磁場を用いて、浮遊するマイクロコンポーネントデバイスを互いに近づくよう動かす工程、および、ターゲットャップで並べられたマイクロコンポーネントデバイスをキャリア基板に移動する工程、である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数のマイクロコンポーネントデバイスを、リキッドサスペンディングミディアムに浮かぶように配置する工程であって、該マイクロコンポーネントデバイスは、第1の方向に沿っては第1方向イニシャルギャップで離隔しており、第2の方向に沿っては第2方向イニシャルギャップで離隔しており、該第1の方向は該第2の方向と交差する、ことを特徴とする工程と、 前記マイクロコンポーネントデバイスが、前記第1の方向に沿っては第1方向ターゲットギャップで離隔し、前記第2の方向に沿っては第2方向ターゲットギャップで離隔して、該マイクロコンポーネントデバイスのアレイを構成するように、前記リキッドサスペンディングミディアムに浮かぶ前記マイクロコンポーネントデバイスを、相互に近づくように動かす工程であって、該第1方向ターゲットギャップおよび該第2方向ターゲットギャップは、対応する前記第1方向イニシャルギャップおよび前記第2方向イニシャルギャップよりも小さい、ことを特徴とする工程と、 前記マイクロコンポーネントデバイスのアレイを、キャリア基板上に移動する工程であって、前記第1方向ターゲットギャップおよび前記第2方向ターゲットギャップが保持されている、ことを特徴とする工程と、 を有するマイクロコンポーネントデバイスの配列方法。

IPC (5件)：

G09F 9/33 ,  H01L 33/00 ,  H05K 13/04 ,  H01L 21/60 ,  F21V 19/00

FI (5件)：

G09F9/33 ,  H01L33/00 H ,  H05K13/04 B ,  H01L21/60 311Q ,  F21V19/00 170

Fターム (16件)：

3K013BA01 ,  5C094AA43 ,  5C094BA23 ,  5C094GB10 ,  5E353BB01 ,  5E353BB08 ,  5E353BC10 ,  5E353HH08 ,  5E353JJ19 ,  5E353MM08 ,  5F044KK01 ,  5F044KK23 ,  5F142AA26 ,  5F142CB23 ,  5F142FA32 ,  5F142GA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 単結晶粒子が配向されたセラミックス高次構造体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-079130   出願人：独立行政法人物質・材料研究機構
• 素子の実装方法、照明装置及びその製造方法、画像表示装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-339952   出願人：ソニー株式会社