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J-GLOBAL ID：202002210090974440   整理番号：20A1192383

Bi_1+及びBi_32+イオンを用いたTOF-SIMS測定における分子感度に及ぼす高分子結晶化の影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of polymer crystallization on the molecular sensitivity in TOF-SIMS measurements using Bi₁ ⁺ and Bi₃ ²⁺ ions

著者 (3件)： Shishido Rie (Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai, Miyagi 980-8577, Japan) ,  Mitsuishi Masaya (Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai, Miyagi 980-8577, Japan) ,  Suzuki Shigeru (Micro System Integration Center in MaSC, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai, Miyagi 980-8577, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 38  号： 3  ページ： 034004-034004-6  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Biクラスタイオンは,飛行時間二次イオン質量分析(TOF-SIMS)のための最も利用される一次源の一つである。Biクラスタは,C_60+およびAr_n+のような大きなクラスタに対して優位性を有するが,Biクラスタを一次イオンとして用いるとき,TOF-SIMSは高分子に対して感度が低い。マトリックス増強SIMSは,マトリックスがフラグメンテーションを制限するので,大きな分子に対してより敏感な技術である。マトリックスは,試料表面からの大きな分子の抽出を容易にする分子の結晶性と凝集性を低下させると考えられる。本研究では,異なる一次Biイオン種を用いたTOF-SIMSの分子感度に及ぼすポリエチレングリコール構造の影響を調べた。結果は,非晶質PEGが,Bi_1+またはBi_32+イオンを照射に用いるとき,TOF-SIMSによる結晶性PEGよりも大きな分子の検出を可能にすることを示した。これは,有機分子の構造が一次イオンからの運動エネルギーの伝搬に影響することを示唆している。この現象はポリマ鎖への損傷を減少させ,無傷の分子イオンに対するTOF-SIMSの感度を高める。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ビスマス ,  高分子結晶 ,  高分子鎖 ,  ポリエチレンオキシド ,  非晶質 ,  結晶度 ,  有機化合物 ,  クラスタ ,  運動エネルギー ,  フラグメンテーション ,  クラスタイオン
準シソーラス用語： 分子イオン ,  *TOF-SIMS ,  凝集性 ,  ビスマスイオン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 有機化合物の物理分析  (CC03034A)

タイトルに関連する用語 (5件)： イオン ,  TOF-SIMS ,  分子 ,  感度 ,  高分子結晶