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J-GLOBAL ID：202002210161158232   整理番号：20A2720105

微細構造表面のインライン検査のための長い作動距離目標をもつ高分解能光学的測定法に関する数値解析【JST・京大機械翻訳】

Numerical analysis on high resolution optical measurement method with long working distance objective for in-line inspection of micro-structured surface

著者 (4件)： Kume Hiromasa (Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan) ,  Michihata Masaki (Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan) ,  Takamasu Kiyoshi (Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan) ,  Takahashi Satoru (Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo, Komaba 4-6-1, Meguro-ku, Tokyo, Japan)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 67  ページ： 232-247  発行年： 2021年 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ流体デバイスのインライン表面検査のために,サブマイクロメータ分解能と長い作動距離(W.D.)対物レンズを有する光学測定技術が必要である。構造化照明顕微鏡(SIM)は,高分解能を達成する良い候補である。しかし,微細構造表面検査において,測定はコヒーレントイメージングを通して行う必要があり,従って,従来のインコヒーレントSIMはサンプルからの光の干渉のために直接適用できない。本研究では,光波の振幅と位相を考慮して方程式を再定式化した。その結果,多重干渉画像を用いて,コヒーレントイメージングにより,試料のより高い空間周波数を導出できることが分かった。この提案したコヒーレントSIMに基づいて,サブマイクロおよびマイクロ構造表面のインライン表面検査のための長いW.D.客観的レンズおよびサブマイクロメータ分解能を有する光学測定法を提案した。Fourier光学とイメージング理論に基づく理論的および数値的観点から提案した方法の分解能と性能を解析した。結果は,長いW.D.目的レンズでも,提案した方法の概念が,非蛍光観察にもかかわらず,サブマイクロメータ分解能を達成できることを検証した。これは標準顕微鏡と従来のインコヒーレントSIMによって達成できない。また,実際のインライン検査で生じる外部擾乱を考慮した数値解析も行った。結果は,参照光の最大位相誤差が2π/20,すなわち,長さ20nmの誤差である条件下で,提案方法が,5%以上の最大測定誤差で,半分未満の距離で,2つの点を解決することができることを明らかにした。これらの値はインライン検査において実用的である。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 蛍光 ,  コヒーレンス ,  *数値解析 ,  レンズ ,  *光学的測定 ,  画像処理 ,  光干渉 ,  多重化 ,  空間周波数 ,  位相 ,  定式化 ,  対物レンズ ,  *高分解能 ,  マイクロ流体デバイス
準シソーラス用語： 位相誤差 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： コヒーレントイメージング ,  構造化照明顕微鏡法 ,  長い作業距離目標レンズ ,  表面検査 ,  マイクロ構造デバイス

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 微細構造 ,  インライン ,  検査 ,  作動距離 ,  目標 ,  高分解能 ,  光学的測定法 ,  数値解析