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J-GLOBAL ID:202002211724445195   整理番号:20A2610679

共スパッタ法を用いた金添加酸化タンタル薄膜の作製と光触媒への応用に向けた基礎検討

Characterization of Photocatalytic Gold-Doped Tantalum Pentoxide Thin Films Prepared Using a Simple Co-Sputtering Method
著者 (6件):
資料名:
巻: 120  号: 217(CPM2020 11-21)  ページ: 27-30 (WEB ONLY)  発行年: 2020年10月22日 
JST資料番号: U2030A  ISSN: 2432-6380  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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簡便な共スパッタ法を用いて金添加酸化タンタル薄膜(Ta2O5:Au)を作製し,光触媒への応用に向けた基礎検討を行った.700°Cで熱処理を行った金添加試料の透過スペクトルから,金ナノ粒子によるものと思われ光吸収が観測された.また,同試料のXRDパターンから,酸化タンルの結晶が進んでいることを確認した.我々の共スパッタ法を用いて,結晶性の高い酸化タンタル薄膜内に金ナノ粒子を形成し,高性能な薄膜型光触媒に応用できる可能性を見出した.(著者抄録)
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分類 (3件):
分類
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酸化物薄膜  ,  薄膜成長技術・装置  ,  光の屈折,反射,分散,偏向,吸収,透過 
引用文献 (8件):

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