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J-GLOBAL ID：202002213997939948   整理番号：20A1199965

大面積多結晶シリコンウエハ上の均一なブラックシリコンナノ構造を作製するためのSAW損傷除去の改善【JST・京大機械翻訳】

Improvement of saw damage removal to fabricate uniform black silicon nanostructure on large-area multi-crystalline silicon wafers

著者 (17件)： Li Xinpu (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Li Xinpu (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Tao Ke (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Tao Ke (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Ge Huayun (Hanwha SolarOne, Jiangsu 200335, China) ,  Zhang Danni (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Zhang Danni (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Gao Zhibo (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Jia Rui (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Jia Rui (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Chen Shengdi (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Chen Shengdi (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Ji Zhuoyu (North China Elect Power Univ, Coll Environm Sci & Engn, MOE Key Lab Resources & Environm Syst Optimizat, Beijing 102206, China) ,  Jin Zhi (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Jin Zhi (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Liu Xinyu (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Liu Xinyu (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
資料名： Solar Energy  (Solar Energy)
巻： 204  ページ： 577-584  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0099A  ISSN： 0038-092X  CODEN： SRENA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ag金属支援化学エッチング法(Ag-MACE)による黒色シリコン太陽電池の調製の第一段階は,ダイヤモンドワイヤの多結晶シリコンウエハの表面上の鋸損層を除去することである。これを行う通常の方法はKOHの高温溶液である。しかし,この方法で大量に処理されたシリコンウエハの表面は,多くの白色スポットと染色を有する。これらの白色スポットと染色は,清浄に除去されていない鋸損傷層である。それらは,太陽電池の出現だけでなく,最も重要なことに,シリコンウエハ上への銀ナノ粒子のその後の均一な堆積に影響を及ぼす。本研究では,シクロデキストリンとリグノスルホン酸塩を含む添加剤を開発した。これは,効果的に鋸損層を除去することができて,白いスポットを除去して,シリコンウエハの表面に関して染色することができた。シリコンウエハの外観を改善し,銀ナノ粒子を全シリコンウエハの表面に均一に堆積させた。この添加剤は太陽電池効率の改善,並列抵抗の向上,逆漏れ電流の低減などに非常に有用であることが証明されている。最終的に,この添加剤によるAg-MACEによって作られた大量生産太陽電池は19.49%の最大効率を有し,それは添加剤なしのそれよりも絶対的に0.46%高い。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高温 ,  太陽電池 ,  大量生産 ,  鋸 ,  *多結晶 ,  漏れ電流 ,  シクロデキストリン ,  リグニンスルホン酸 ,  *ナノ構造 ,  *ポリシリコン
準シソーラス用語： *シリコンウエハ ,  シリコン太陽電池 ,  銀ナノ粒子 ,  *ブラックシリコン ,  金属支援化学エッチング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 多結晶ブラックシリコン ,  SAW損傷層 ,  太陽電池 ,  ダイヤモンドワイヤSAW ,  金属支援化学エッチング ,  添加剤

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (8件)： 大面積 ,  多結晶シリコン ,  ウエハ ,  ブラックシリコン ,  ナノ構造 ,  作製 ,  SAW ,  損傷