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J-GLOBAL ID：202002215590880813   整理番号：20A2467398

マイクロ流体の流量制御を目指した一層状エアコントロール逆止弁の開発

Development of a single layered pneumatic controlled check valve aiming for flow rate control in microfluidics

著者 (4件)： 別所芳春 (大阪大) ,  WANG Yingzhe (大阪大) ,  上杉薫 (大阪大) ,  森島圭祐 (大阪大)
資料名： 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会予稿集(CD-ROM))
巻： 2020  ページ： ROMBUNNO.2P1-O08  発行年： 2020年05月27日 
JST資料番号： L0318B  ISSN： 2424-3124  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロバルブは微細加工技術を用いたマイクロ流体デバイスの一要素としてマイクロチップ内の流体制御を担っており,受動型の逆止弁や能動弁などの様々な構造,機能を持つものが検討されているが,その多くが多層構造であり,作製工程が複雑であるという問題点が存在している.本研究では,流量制御とダイオード性を併せ持つ単層構造の空気圧制御型の逆止弁を提案する.実験では逆止機能を確認し,メインチャネル圧力40kPa,コントロールチャネル圧力80kPaにおいて,流量減少率は20%であった.(著者抄録)

シソーラス用語： 単一層 ,  構造 ,  *逆止弁 ,  *空気圧制御 ,  流体 ,  流量制御
準シソーラス用語： *マイクロ流体

分類 (1件)： 配管材料,弁  (QD05020E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 流体 ,  流量制御 ,  層状 ,  エアコントロール ,  逆止弁 ,  開発