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J-GLOBAL ID：202002216078783076   整理番号：20A0419651

同軸テレセントリック光路に基づく位相測定偏向測定における傾斜高さのあいまいさ問題への解【JST・京大機械翻訳】

Solution to the slope-height ambiguity problem in phase measuring deflectometry based on a co-axial telecentric optical path

著者 (4件)： Yue Hui-Min (School of Optoelectronic Information, State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, People’s Republic of China) ,  Wu Yu-Xiang (School of Physics and Optoelectronic Engineering, Xidian University, Xi’an 710071, People’s Republic of China) ,  Song Yi-Ping (School of Optoelectronic Information, State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, People’s Republic of China) ,  Liu Yong (School of Optoelectronic Information, State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, People’s Republic of China)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 31  号： 4  ページ： 045007 (8pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,位相測定偏向測定(PMD)は鏡面の形状を測定するための一般的な方法になっている。しかし,記録された干渉縞パターンの位相を示す固有の傾斜高さの曖昧さ問題は,試験表面の高さと傾斜の両方によって決定され,測定結果にかなりのあいまいさの誤差を引き起こす。既存の誤差低減法は,通常,試験表面の初期形状情報または測定を支援するための追加装置を必要とする。これらの要求は,いくつかの状況において測定を柔軟にする。本論文において,PMDにおける傾斜高さ曖昧さ問題をモデル化して,解析的に解析して,あいまいさ誤差を最小化するシステム幾何学要件をそれに応じて実行した。これらの要求を満たすために,テレセントリック画像システムによる共軸光路装置を提案した。シミュレーションと実験において,このシステムは,通常使用されているシステム形状設定からのものと比較して,位相と高さの誤差を2桁まで低減する。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *偏向 ,  *位相 ,  *位相測定 ,  曖昧さ ,  幾何学 ,  干渉縞
準シソーラス用語： 誤差低減 ,  *光路 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 同軸 ,  光路 ,  位相測定 ,  偏向 ,  高さ ,  あいまいさ ,  解