文献

J-GLOBAL ID：202002217234178530   整理番号：20A2345798

軟X線のための高効率ナノ集束システム【JST・京大機械翻訳】

A highly efficient nanofocusing system for soft x rays

著者 (15件)： Takeo Yoko (Department of Precision Engineering, School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Motoyama Hiroto (Department of Chemistry, School of Science, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-0033, Japan) ,  Shimamura Takenori (Department of Precision Engineering, School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Kimura Takashi (Synchrotron Radiation Laboratory, Laser and Synchrotron Research Center, Institute for Solid State Physics, The University of Tokyo, 1-1-1 Koto, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5148, Japan) ,  Kume Takehiro (Technology Center, Natsume Optical Corporation, 1200-29 Kawaji, Iida-shi, Nagano 399-2431, Japan) ,  Matsuzawa Yusuke (Technology Center, Natsume Optical Corporation, 1200-29 Kawaji, Iida-shi, Nagano 399-2431, Japan) ,  Saito Takahiro (Technology Center, Natsume Optical Corporation, 1200-29 Kawaji, Iida-shi, Nagano 399-2431, Japan) ,  Imamura Yoichi (Technology Center, Natsume Optical Corporation, 1200-29 Kawaji, Iida-shi, Nagano 399-2431, Japan) ,  Miyashita Hiroaki (Technology Center, Natsume Optical Corporation, 1200-29 Kawaji, Iida-shi, Nagano 399-2431, Japan) ,  Hiraguri Kentaro (Technology Center, Natsume Optical Corporation, 1200-29 Kawaji, Iida-shi, Nagano 399-2431, Japan) ,  Hashizume Hirokazu (Technology Center, Natsume Optical Corporation, 1200-29 Kawaji, Iida-shi, Nagano 399-2431, Japan) ,  Senba Yasunori (Light Source Division, Japan Synchrotron Radiation Research Institute, 1-1-1 Koto, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5198, Japan) ,  Kishimoto Hikaru (Light Source Division, Japan Synchrotron Radiation Research Institute, 1-1-1 Koto, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5198, Japan) ,  Ohashi Haruhiko (Light Source Division, Japan Synchrotron Radiation Research Institute, 1-1-1 Koto, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5198, Japan) ,  Mimura Hidekazu (Department of Precision Engineering, School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 117  号： 15  ページ： 151104-151104-5  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： x線の集束は,光電子増倍ビームのサイズとフラックスが空間分解能と信号強度をそれぞれ決定するので,種々のタイプのX線顕微鏡において必須である。すれすれ入射ミラーを有するシステムは,ナノメートルスケールでビーム寸法で高効率のX線集束を可能にする。楕円鏡とWolter鏡を含む大きな開口と高い脱拡大を有するチューブ形状ミラーを,最近,軟X線ナノ集束用に開発した。しかし,これらのミラーは,照明ビームの中心部分を集中できないので,効率が低い。ここでは,リング集束ミラーにより形成されるリング形ビームが準Wolterミラーを照射する2段階集束システムを提案した。システムのプロトタイプをSPring-8のビームラインBL25SU-Aで実験的に構築した。心理グラフィに基づく波面誤差の観測は,2つの鏡の効率的なアラインメントを可能にする。このアラインメント手順を用いて,300eVで200nm以下のスポットサイズを達成した。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線顕微鏡 ,  アラインメント ,  *集束 ,  *軟X線 ,  照明 ,  開口 ,  ビームライン ,  すれすれ入射 ,  光電子 ,  プロトタイプ
準シソーラス用語： SPring-8 ,  *高効率 ,  スポットサイズ ,  信号強度 ,  X線集束 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (3件)： 軟X線 ,  高効率 ,  ナノ集束