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J-GLOBAL ID：202002217618026226   整理番号：20A0378000

曲面に対する偏光解析法【JST・京大機械翻訳】

Imaging ellipsometry for curved surfaces

著者 (3件)： Negara Christian (Fraunhofer IOSB, Fraunhoferstr. 1, 76131 Karlsruhe, Germany) ,  Laengle Thomas (Fraunhofer IOSB, Fraunhoferstr. 1, 76131 Karlsruhe, Germany) ,  Beyerer Juergen (Fraunhofer IOSB, Fraunhoferstr. 1, 76131 Karlsruhe, Germany)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 38  号： 1  ページ： 014016-014016-16  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 平面と曲面の両方の反射に基づく測定を可能にする画像リターンパスエリプソメータの新しい設計を提案した。ミラーに基づくリターンパスエリプソメトリ(RPE)は自由形状の試料の表面特性化に適用できない。ミラーの代わりにマイクロ球ベースの反射器を用いてこの制限を回避した。反射に基づくRPEに対する測定方程式は鏡面に基づくRPEに対するものと非常に類似している。したがって,著者らは最初に,Mueller-マトリックス偏光解析法に焦点を合わせることによって,従来の(一方向性)とリターンパス(双方向性)偏光解析法の間の差異を概説した。さらに,散乱と回折が無視できるとき,ほとんど任意の媒質に対する表面傾斜を決定するために回転反射器からなる新しい偏光計を示した。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *偏光解析法 ,  ミクロスフェア ,  媒質 ,  偏光計 ,  反射器 ,  表面性状
準シソーラス用語： 双方向性 ,  一方向性 ,  鏡面 ,  自由形状 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 曲面 ,  偏光解析法