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J-GLOBAL ID：202002218264137080   整理番号：20A1154704

屈折率センシングのためのポリマーベーススリット導波路のシミュレーションと作製【JST・京大機械翻訳】

Simulation and Fabrication of Polymeric Slot Waveguide for Refractive Index Sensing

著者 (6件)： Lv Huanlin (大連理工大学 光電工程与儀器科学学院,遼寧 大連 116024;大連工業大学 基礎教学部,遼寧 大連 116034) ,  Liang Yuxin (大連理工大学 光電工程与儀器科学学院,遼寧 大連,116024) ,  Han Xiuyou (大連理工大学 光電工程与儀器科学学院,遼寧 大連,116024) ,  Wu Zhenlin (大連理工大学 光電工程与儀器科学学院,遼寧 大連,116024) ,  Gu Yiying (大連理工大学 光電工程与儀器科学学院,遼寧 大連,116024) ,  Zhao Mingshan (大連理工大学 光電工程与儀器科学学院,遼寧 大連,116024)
資料名： Guangzi Xuebao  (Guangzi Xuebao)
巻： 49  号： 2  ページ： 1-8  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1500A  ISSN： 1004-4213  CODEN： GUXUED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 極近赤外バンド(890nm)の高分子ベーススリット導波路マイクロリング屈折率センサを設計した。感度に及ぼす導波路高さ,幅,スリット幅の影響を解析し,屈折率センシングのための最適設計基準を見出した。シリコンマスターテンプレートを電子ビームリソグラフィによって調製し,フレキシブルソフトモールドをシリコンマスターテンプレートから首尾よく調製した。高分子ベースのスリット導波路を,紫外線ソフトインプリンティング技術によって調製した。導波路の幅と高さとスリット導波路の幅はそれぞれ約510nm、830nmと234nmであり、ポリマースリット導波路の残留層の厚さは約350nmであった。作製したスリット導波路は高アスペクト比で低コストバッチ生産プロセスと互換性がある。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *屈折率 ,  紫外線 ,  互換性 ,  バッチ生産 ,  最適設計 ,  ケイ素 ,  高分子 ,  近赤外線 ,  *導波路 ,  電子ビームリソグラフィー
準シソーラス用語： 高アスペクト比 ,  屈折率センサー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 屈折率 ,  センシング ,  導波路 ,  シミュレーション ,  作製