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J-GLOBAL ID：202002218953034930   整理番号：20A2795752

制御環境における偏光スペクトル放射率測定のための新しい実験装置【JST・京大機械翻訳】

A new experimental apparatus for polarized spectral emissivity measurement in a controlled environment

著者 (5件)： Yu Kun (Henan Key Laboratory of Infrared Materials & Spectrum Measures and Applications, School of Physics, Henan Normal University, Xinxiang, Henan 453007, PR China) ,  Wang Gangquan (Henan Key Laboratory of Infrared Materials & Spectrum Measures and Applications, School of Physics, Henan Normal University, Xinxiang, Henan 453007, PR China) ,  Li Longfei (Henan Key Laboratory of Infrared Materials & Spectrum Measures and Applications, School of Physics, Henan Normal University, Xinxiang, Henan 453007, PR China) ,  Zhang Kaihua (Henan Key Laboratory of Infrared Materials & Spectrum Measures and Applications, School of Physics, Henan Normal University, Xinxiang, Henan 453007, PR China) ,  Liu Yufang (Henan Key Laboratory of Infrared Materials & Spectrum Measures and Applications, School of Physics, Henan Normal University, Xinxiang, Henan 453007, PR China)
資料名： Infrared Physics & Technology  (Infrared Physics & Technology)
巻： 111  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0184A  ISSN： 1350-4495  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい実験装置を,真空,酸化,還元雰囲気などの制御環境における固体材料の偏光スペクトル放射率測定用に設計した。試料ヒータをステンレス鋼チャンバ内に設置し,試料を1073Kまで加熱できる。試料ヒータは電気回転プラットフォームで180°回転できる。ステンレス鋼チャンバーは,異なるガス雰囲気をシミュレーションするために,3つの流動制御可能吸気弁を備えている。偏光ビーム分割キューブを窓の前面に配置し,試料表面から放射した放射輝度をPとS偏光放射輝度に分割した。偏光放射輝度はインジウムガリウムヒ素検出器により1200から1600nmまで測定できた。球状チャンバの放射の影響を計算し,詳細に論じた。装置の能力を検証するために,1.5μmのシリコンウエハの偏光スペクトル放射率を最初に測定した。結果は,シミュレーションとの優れた適合を示した。次に,純鉄と炭化ケイ素を,大気と真空環境でそれぞれ測定した。実験結果は装置の機能性と再現性を検証した。不確実性評価は,偏光スペクトル放射率の相対的組合せ不確実性が,考慮したスペクトル範囲で1.92%以上であることを示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 酸化 ,  *偏光 ,  不確実性 ,  加熱器 ,  ステンレス鋼 ,  炭化ケイ素 ,  再現性 ,  *分光放射率 ,  *スペクトル ,  吸気弁 ,  純鉄 ,  放射輝度 ,  ヒ化ガリウムインジウム
準シソーラス用語： チャンバ ,  シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 偏光スペクトル放射率 ,  大気制御 ,  チェンバ放射 ,  酸化

分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  赤外・遠赤外領域の分光法と分光計  (BD07042H)

タイトルに関連する用語 (4件)： 環境 ,  偏光スペクトル ,  放射率 ,  実験装置