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J-GLOBAL ID:202002219091988201   整理番号:20A0426812

50eV以下のエネルギー範囲における水素イオンビーム輸送:イオンビーム種【JST・京大機械翻訳】

Hydrogen ion beam transport in an energy range lower than 50 eV: Ion beam species
著者 (5件):
資料名:
巻: 91  号:ページ: 013507-013507-5  発行年: 2020年 
JST資料番号: D0517A  ISSN: 0034-6748  CODEN: RSINAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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50eV以下のエネルギー範囲における低エネルギービーム輸送を,真空システムに入れることができる高温タングステン陰極を有するコンパクトなイオン源を用いて研究した。直径2.6cm,長さ5.2cmの小型イオン源は,50eVのビームエネルギーでH2+イオンの2.4nA以上のビームを生成することに成功した。また,ソースは100pA以上の質量分離電流をもつ2.5eVエネルギーでH3+イオンの安定なビームを供給した。イオン源の内部壁は,イオン源壁材料を変えることによりイオンビームの化学種組成を制御できるかどうかを見るために,チタン,ニッケル,モリブデンの薄板で覆われている。通常,H_2+イオンピークは質量スペクトルにおいて最も高く,H_2+イオン比(H_2+/H_n+)は水素ガスによるソース操作に対して測定された。イオン種比は時間に対してドリフトし,Moは最も安定なイオン比を示した。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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電子ビーム,イオンビーム  ,  電子源,イオン源 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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