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J-GLOBAL ID：202002219154361320   整理番号：20A2768111

干渉リソグラフィーにおけるフリンジ位相安定化のための最適制御【JST・京大機械翻訳】

Optimal Control for Stabilizing Fringe Phase in Interference Lithography

著者 (5件)： Lu Sen (Tsinghua University,Department of Mechanical Engineering,Beijing,China) ,  Yang Kaiming (Tsinghua University,Department of Mechanical Engineering,Beijing,China) ,  Zhu Yu (Tsinghua University,Department of Mechanical Engineering,Beijing,China) ,  Wang Leijie (Tsinghua University,Department of Mechanical Engineering,Beijing,China) ,  Zhang Ming (Tsinghua University,Department of Mechanical Engineering,Beijing,China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： OGC  ページ： 173-176  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 干渉リソグラフィーでは,環境擾乱は曝露過程中の干渉縞の位相ドリフトをもたらし,曝露コントラストの減少をもたらす。フィードバック制御は,通常,位相を安定化するために使用され,制御アルゴリズムの選択は,曝露効果に影響を及ぼす。本論文では,Kalmanフィルタと組み合わせた線形二次Gauss(LQG)制御器を適用して,残留位相誤差の分散を最小化する問題を解くことにより最適フィードバック制御を提供した。位相制御法を状態空間アプローチを用いて記述した。シミュレーション結果は,提案した制御法が,機械振動によって引き起こされた位相摂動と同様に,低周波位相ドリフトを効果的に抑制できることを示した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： コントラスト ,  シミュレーション ,  最適制御 ,  フィードバック制御 ,  機械振動 ,  ドリフト ,  干渉縞 ,  制御方式 ,  位相制御 ,  *位相安定化 ,  *位相 ,  LF【周波数】 ,  Kalmanフィルタ ,  摂動
準シソーラス用語： 位相誤差 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 干渉リソグラフィー ,  位相安定化 ,  最適制御